Bài giảng Quang phổ nguyên tử và ứng dụng

Bài giảng Quang phổ nguyên tử và ứng dụng cung cấp cho các bạn những kiến thức về cấu tạo, nguyên lý hoạt động của phương pháp Stylus; ứng dụng của phương pháp Stylus đo độ dày mỏng (loại màng, Stylus tip và force tip, Parameters, ưu và nhược điểm).
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Bài giảng Quang phổ nguyên tử và ứng dụngQUANG PHỔ NGUYÊN TỬ VÀ ỨNG DỤNG Thầy : TS. Lê Vũ Tuấn HùngPHƯƠNG PHÁP STYLUS Thực hiện: Trần Minh Đạo Phạm Kim Ngọc PHƯƠNG PHÁP STYLUSI. Cấu tạoII. Nguyên lý hoạt độngIII. Ứng dụng pp stylus đo độ dày màng mỏng: a) Loại màng b) Stylus tip và force tip c) Parameters d) Ưu và nhược điểmPHƯƠNG PHÁP STYLUS CẤU TẠO PHƯƠNG PHÁP STYLUS NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNGLINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL TRANSFORMER LVDT TÍN HIỆU AC MẪU CHUYỂN ĐỔI A/D ĐẾ MÁY TÍNH PHƯƠNG PHÁP STYLUSLINEAR VARIABLE DIFFERENTIAL TRANSFORMER PHƯƠNG PHÁP STYLUSS SP P AS S S SS S P P S SP PS S S S P P S S S S P P S S PHƯƠNG PHÁP STYLUS Sóng Cùng tần số Lớn hơn 10 mang lần x(t) t Amplitude modulator V(t)t lọc Chỉnh lưu Tín hiệu raPHƯƠNG PHÁP STYLUS ĐO ĐỘ DÀY MÀNG MỎNG PHƯƠNG PHÁP STYLUS Scan length 30µm to 30 mm Tuỳ mẫu, tuỳ yêu cầu 100µm - 500µm thực tế??? PHƯƠNG PHÁP STYLUS Scan speed Khoảng cách quét - lực quét Duration: 3 - 200sec Data Points/Scan = 300 x Scan Duration(sec) Data Points/Scan = Scan length(µm) / Horizontal Resolution (µm) Low speed ( + low force + noise) ? High speed ?? (5 - 10µm/sec) ideal? PHƯƠNG PHÁP STYLUS Stylus force 1mg – 15mg (< 1mg) Loại màng, pp chế tạo? Low force  ? High force ? Stylus tip? PHƯƠNG PHÁP STYLUS Stylus tip Diamond tip R= 0.2 25µm (12.5µm) stylus Phù hợp loại màng và lực tip (115mg) + vận tốc quét PHƯƠNG PHÁP STYLUS Parameters Maximum sample thickness 31.75 mm Vertical range 262 micron. X-Y stage translation 20 mm x 80 mm vertical data resolution 1 A at 65kA range Z-height capability 1 mm ?? Color video camera with manual zoom optics 70-280X PHƯƠNG PHÁP STYLUS Analytical Functions - Roughness Maxdev (Maximum Deviation) MaxRa (Maximum Ra) Ra (Average Roughness) Rp(Maximum Peak) Rq (RMS) Rt (Maximum peak to valley) Rv (Maximum valley) Rz_din (Ten points height average) Skew (skewness) PHƯƠNG PHÁP STYLUS Analytical Functions - Waviness Wa (Arithmetic average of waviness) Wmaxdev (maximum Deviation of Waviness) Wp (maximum peak of waviness) Wq (Root – Mean – Square of Waviness) Wt (Maximum peak to valley of waviness) Wv (Maximum vallley of waviness) PHƯƠNG PHÁP STYLUS Analytical Functions - Height ASH (Delta Average step height) Avg Ht (Average Height) HSC (High spot count) Pc (peak count) Peak (Maximum peak) P_V (Maximum peak to valley) TIR (Total Indicated reading) Valley (maximum valley) PHƯƠNG PHÁP STYLUS Analytical Functions - Geometry Area (Area under the curve) Perim (Perimeter) Radius Slop Sm (Mean spacing between peaks) Tp (Bearing ratio) VolumePHƯƠNG PHÁP STYLUS ưu và nhược điểm