Bài thuyết trình Phổ quang điện tử tia X - Thiết bị

Bài thuyết trình Phổ quang điện tử tia X - Thiết bị tập trung làm rõ về cấu tạo của thiết bị XPS, nguồn tia X, bơm chân không, buồng chứa mẫu, bộ phận phân tích. Bài thuyết trình hữu ích với các bạn quan tâm tới lĩnh vực quang phổ.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Bài thuyết trình Phổ quang điện tử tia X - Thiết bịGVHD: TS Lê Vũ Tuấn HùngHV: Trịnh Thị Quỳnh Như  XPS còn được gọi là ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis).  Kỹ thuật này được sử dụng rộng rãi vì nó rất đơn giản và dữ liệu được phân tích nhanh, dễ dàng.  XPS hoạt động bằng cách chiếu tia X lên các nguyên tử của bề mặt vật liệu rắn, các electron được phóng ra, gọi là các quang electron (photoelectron) University of Texas at El Paso, Physics DepartmentFront view of the Phi 560 XPS/AES/SIMS UHV SystemCấu tạo của thiết bị XPS Cấu tạo của thiết bị XPSNguồn tia XBơm chân không Bộ phận phân tíchBuồng chứa mẫuNguồn tia XNguồn tia XCó 2 loại: Kα Al mang năng lượng 1486 eV hoặc Kα Mg mang năng lượng 1256 eV.Bơm chân không  Thiết bị sử dụng những hệ thống bơm khác nhau để đạt được môi trường chân không cao (UHV)  Môi trường chân không cao ngăn chặn ô nhiễm trên mẫu và hỗ trợ cho việc phân tích mẫu chính xác. Loại bỏ khí hấp thụ từ mẫu Loại bỏ hấp phụ của chất gây ô nhiễm trên mẫu. Ngăn chặn sự tạo hồ quang khi có điện áp cao. Tạo đường đi thông thoáng cho electron, photon.Buồng chứa mẫu  Mẫu được đặt ở buồng có thể tiếp xúc với môi trường bên ngoài.  Nó sẽ được đóng lại và bơm chân không thấp.  Sau đó mẫu sẽ được đưa vào buồng có UHV First Chamber Second Chamber UHV Bộ phận phân tích Bộ phận phân tích năng lượngelectron có rất nhiều kiểu, nhưng phổ biếnnhất là bộ phận phân tích bán cầu đồng tâm(CHA), sử dụng điện trường giữa hai bề mặtbán cầu để phân tán chùm electron theo độngnăng của chúng.Mỗi bản được tích điện trái dấu tạo thành mộtđiện trường đều cong.Khi các điện tử di chuyển trong ống, điệntrường này sẽ biến đổi để dẫn các điện tử đitheo ống.Ví dụPhổ XPS của mẫu kim loại Pd sử dụng bức xạ Mg Kα : hν = 1253.6 eV 335 920 330 534 720 561 690 673