Danh mục

Fabrication and characterization of PZT string based MEMS devices

Số trang: 6      Loại file: pdf      Dung lượng: 2.17 MB      Lượt xem: 9      Lượt tải: 0    
tailieu_vip

Xem trước 1 trang đầu tiên của tài liệu này:

Thông tin tài liệu:

String based MEMS devices recently attract world technology development thanks to their advantages over cantilever ones. Approaching to this direction, the paper reports on the micro-fabrication and characterization of free-standing doubly clamped piezoelectric beams based on heterostructures of Pd/ FeNi/Pd/PZT/LSMO/STO/Si. The displacement of strings is investigated in both static and dynamic mode.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Fabrication and characterization of PZT string based MEMS devices

Tài liệu được xem nhiều: