Danh mục

Giáo trình môn học công nghệ vi điện tử 17

Số trang: 7      Loại file: pdf      Dung lượng: 596.08 KB      Lượt xem: 19      Lượt tải: 0    
Hoai.2512

Phí tải xuống: 5,000 VND Tải xuống file đầy đủ (7 trang) 0
Xem trước 2 trang đầu tiên của tài liệu này:

Thông tin tài liệu:

Để các chi tiết trên mặt nạ, trên phiến silicon của lần chế tạo trước đó (với một mặt khác trong cả bộ) trùng khít lên những chi tiết của mặt nạ hiện tại người ta phải dùng một kỹ thuật gọi là kỹ thuật đồng chỉnh (so mask hay mask aligner). Kỹ thuật này được thực hiện thông qua những dấu hiệu gọi là dấu so (mask marks) với sự trợ giúp quang học (kính hiển vi, CCD camêra…) và hệ vi chỉnh cơ khí theo các chiều X,Y và chỉnh méo. ...
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Giáo trình môn học công nghệ vi điện tử 17 119 120 121 122 123 124 125

Tài liệu được xem nhiều: