Danh mục

Giáo trình môn học công nghệ vi điện tử 18

Số trang: 7      Loại file: pdf      Dung lượng: 515.49 KB      Lượt xem: 24      Lượt tải: 0    
10.10.2023

Phí tải xuống: 5,000 VND Tải xuống file đầy đủ (7 trang) 0
Xem trước 2 trang đầu tiên của tài liệu này:

Thông tin tài liệu:

Hiện nay mật độ bóng bán dẫn trên một chíp ngày một tăng nên ngoài kỹ thuật quang khắc còn nhiều kỹ thuật khác cho phép khắc lên trên lớp cảm quang những chi tiết với độ phân giải và mức độ tinh vi tốt hơn rất nhiều như kỹ thuật e-beam lithography (kỹ thuật khắc dùng chùm điện tử), hoặc tia X.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Giáo trình môn học công nghệ vi điện tử 18 126 127 128 129 130 131 132

Tài liệu được xem nhiều: