Luận án Tiến sĩ Khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng nền CuO và ZnO định hướng ứng dụng trong linh kiện điện tử

Đề tài đã nghiên cứu các công nghệ chế tạo các lớp màng mỏng ô-xít bán dẫn nền ZnO và CuO; sử dụng hoàn toàn công nghệ sol-gel kết hợp quay phủ để chế tạo các màng mỏng bán dẫn loại n, bán dẫn loại p và các linh kiện điện tử thử nghiệm; nghiên cứu và tối ưu hóa quy trình chế tạo các màng mỏng bán dẫn loại n, màng mỏng bán dẫn loại p và màng mỏng làm điện cực,... Mời các bạn cùng tham khảo.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Luận án Tiến sĩ Khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng nền CuO và ZnO định hướng ứng dụng trong linh kiện điện tử ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN *********** Nguyễn Quang HòaNGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG NỀN CuO VÀ ZnOĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG TRONG LINH KIỆN ĐIỆN TỬ LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ Hà Nội - 2019 ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN *********** Nguyễn Quang HòaNGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG MỎNG NỀN CuO VÀ ZnOĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG TRONG LINH KIỆN ĐIỆN TỬ Chuyên ngành: Vật lý Chất rắn Mã số: 9440130.02 LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: 1. TS. Bùi Nguyên Quốc Trình 2. GS.TS. Bạch Thành Công HÀ NỘI, NĂM 2019 LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của cá nhân tôi dưới sựhướng dẫn trực tiếp của các cán bộ hướng dẫn. Các số liệu và kết quả trình bàytrong luận án được thực hiện trong quá trình thực hiện luận án và chưa từng đượccông bố trong bất ký công trình nào khác. Các số liệu, thông tin, minh chứng và so sánh kết quả từ các nguồn tài liệutham khảo chỉ phục vụ cho mục đích học thuật và đã được trích dẫn tài liệu theođúng quy định. Tác giả luận án Nguyễn Quang Hòa LỜI CẢM ƠN Trước hết, tôi xin trân trọng gửi lời cảm ơn sâu sắc nhất đến TS. Bùi NguyênQuốc Trình, GS. TS. Bạch Thành Công những người thầy đã tận tình hướng dẫn chỉbảo và giúp đỡ tôi trong suốt quá trình học tập, nghiên cứu và thực hiện luận án. Tôi xin chân thành bày tỏ sự cảm ơn tới các thầy, cô trong Bộ môn Vật lýChất rắn, Trung tâm Khoa học Vật liệu và Khoa Vật lý, Trường Đại học Khoa họcTự nhiên, Đại học Quốc gia Hà Nội đã cho tôi những lời khuyên, góp ý hữu íchtrong quá trình nghiên cứu và thực hiện luận án. Tôi xin chân thành cảm ơn NCSLưu Mạnh Quỳnh (Trung tâm Khoa học Vật liệu, Khoa Vật lý, ĐHKHTN-ĐHQGHN), GS. Akihiko Fujiwara (Đại học Kwansei Gakuin, Nhật Bản) đã giúpđỡ tôi đo đạc, khảo sát các tính chất của vật liệu, linh kiện và hoàn thiện luận án. Tôi xin chân thành cảm ơn các thầy, cô Khoa Vật lý, Phòng Sau đại học,ĐHKHTN đã tạo điều kiện giúp đỡ tôi trong suốt thời gian học tập và thực hiệnluận án này. Tôi xin gửi lời cảm ơn chân thành đến các đồng nghiệp, bạn bè đã luôn độngviên, giúp đỡ tôi trong suốt thời gian học tập và thực hiện luận án. Cuối cùng, tôi xin cảm ơn gia đình đã luôn tin tưởng ủng hộ, tạo mọi điềukiện thuận lợi nhất cho tôi để tôi có thể hoàn thành luận án của mình . Luận án này được sự hỗ trợ của đề tài cấp Đại học Quốc gia có mã số QG 19-02. Tác giả luận án Nguyễn Quang Hòa MỤC LỤCLỜI CAM ĐOAN ...................................................................................................... 1LỜI CẢM ƠN ............................................................................................................ 2DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT ............................................. 4DANH MỤC CÁC BẢNG ........................................................................................ 5DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ .................................................................. 7MỞ ĐẦU .................................................................................................................. 11 1. Lí do chọn đề tài luận án ................................................................................. 11 2. Mục tiêu của luận án ....................................................................................... 13 3. Phương pháp nghiên cứu ................................................................................. 13 4. Ý nghĩa khoa học và những đóng góp của luận án ......................................... 13 4.1. Ý nghĩa khoa học ....................................................................................... 13 4.2. Những đóng góp mới của luận án .............................................................. 13 5. Bố cục luận án ................................................................................................. 14CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN ÔXÍT BÁN DẪN KIM LOẠI VÀ ỨNG DỤNG ..... 15 1.1. Vật liệu ôxít bán dẫn kim loại ...................................................................... 15 1.2. Vật liệu bán dẫn nền ZnO............................................................................. 17 1.2.1 Cấu trúc tinh thể của ZnO ........................................................................ 18 1.2.2 Tính chất vật lý của ZnO ......................................................................... 20 1.2.3. Cấu trúc, tính chất điện, quang của ZnO pha tạp.................................... 27 1.2.4. Các phương pháp chế tạo ........................................................................ 28 1.2.4.1. Các phương pháp vật lý ................................................................... 28 1.2.4.2. Các phương pháp hóa học................................................................ 30 1.2.5. Tiềm năng ứng dụng của ZnO và ZnO pha tạp ...................................... 36 1.3. Vật liệu bán dẫn nền CuO ............................................................................ 38 1.3.1. Cấu trúc tinh thể ..... ...