Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu: Nghiên cứu thiết kế hệ thống lò xo vi treo kiểu dầm cong kết cặp cơ và chế tạo mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano plasmonic

Luận án "Nghiên cứu thiết kế hệ thống lò xo vi treo kiểu dầm cong kết cặp cơ và chế tạo mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano plasmonic" được thực hiện nhằm phát triển hệ lò xo vi cơ ưu tiên dao động theo phương vuông góc với mặt phẳng đế chế tạo trục z); thiết lập quy trình chế tạo mũi dò khắc có kích thước nano sử dụng kỹ thuật quang khắc và vi cơ khối ướt truyền thống.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu: Nghiên cứu thiết kế hệ thống lò xo vi treo kiểu dầm cong kết cặp cơ và chế tạo mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano plasmonic BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI Nguyễn Văn Đường NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ HỆ THỐNG LÒ XO VI TREOKIỂU DẦM CONG KẾT CẶP CƠ VÀ CHẾ TẠO MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƢỚNG ỨNG DỤNG KHẮC CÁC CẤU TRÚC NANO PLASMONIC LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU Hà Nội – 2023 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI Nguyễn Văn Đường NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ HỆ THỐNG LÒ XO VI TREOKIỂU DẦM CONG KẾT CẶP CƠ VÀ CHẾ TẠO MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƢỚNG ỨNG DỤNG KHẮC CÁC CẤU TRÚC NANO PLASMONIC Ngành: Khoa học Vật liệu Mã số: 9440122 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: GS. TS. CHU MẠNH HOÀNG Hà Nội - 2023 i LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi, do tôi thực hiệndưới sự hướng dẫn khoa học của tập thể các Thầy hướng dẫn. Các số liệu trong luậnán này là trung thực và chưa từng được tác giả khác công bố. Hà Nội, ngày tháng năm 2023 TM. Tập thể hướng dẫn TÁC GIẢ GS.TS Chu Mạnh Hoàng Nguyễn Văn Đường ii LỜI CẢM ƠN Trong suốt quá trình thực hiện luận văn này, NCS đã mang ơn nhiều người. Đâylà lời tỏ lòng cảm ơn những cá nhân cũng như tập thể đã giúp đỡ NCS trong nhữngnăm thực hiện luận án tiến sĩ tại Viện ITIMS. Trước tiên, NCS xin gửi lời cảm ơn chân thành tới GS.TS. Chu Mạnh Hoàng đãgiúp đỡ NCS, người thầy đã truyền động lực nghiên cứu, tận tình hướng dẫn, giúp đỡvà tạo mọi điều kiện thuận lợi cho NCS trong suốt quá trình học tập, nghiên cứu vàthực hiện luận án. Nhờ sự ch bảo tận tình, những ch dạy uốn nắn chân tình của thầy,NCS đã c được những kiến thức về khoa học vật liệu, về các công nghệ chế tạo,những kinh nghiệm và phương pháp nghiên cứu, phương pháp viết bài và đăng bài trêncác tạp ch ISI và mở ra con đường nghiên cứu khoa học tiếp theo của bản thân. Tiếp theo, NCS muốn gửi lời cảm ơn tới Ban lãnh đạo cùng các thành viên củaITIMS, nơi đã giúp NCS c những kiến thức khoa học về khoa học vật liệu, tạođiều kiện để NCS làm các th nghiệm liên quan tới luận án của mình với tâm lýthoải mái nhất. Đặc biệt gửi lời cảm ơn tới TS. Nguyễn Văn Toán đã tạo điều kiệnđể NCS c thể làm việc trong phòng sạch. Luận án này sẽ không thể hoàn thành nếu thiếu sự giúp đỡ, tạo điều kiện cùngnhững trao đổi thú vị của các anh, chị, em trong phòng th nghiệm MEMS, ViệnITIMS: ThS. Lê Văn Tâm, TS. Nguyễn Ngọc Minh, NCS. Nguyễn Thanh Hương, TS.Nguyễn Văn Minh, TS. Đặng Văn Hiếu, ThS. Nguyễn Ngọc Sơn... Và gửi lời cảm ơnsâu sắc tới Kỹ sư tài năng trẻ Nguyễn Quốc Chiến đã cùng đồng hành hướng nghiêncứu, thực nghiệm cùng NCS để c những kết quả nghiên cứu ngày hôm nay. Cuối cùng, tôi xin giành lời cảm ơn gia đình, gia đình là hậu phương vững chắc,là ch dựa tinh thần để tôi c thể yên tâm nghiên cứu trong suốt thời gian vừa qua. Hà Nội, ngày tháng năm 2023 TÁC GIẢ Nguyễn Văn Đường iii MỤC LỤC DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ CHỮ VIẾT TẮT DANH MỤC CÁC BẢNG DANH MỤC CÁ HÌNH VẼ VÀ ĐỒ THỊ MỞ ĐẦUChương 1. CÔNG NGHỆ KHẮC CƠ HỌC SỬ DỤNG MŨI DÒ QUÉT .......... 1 1.1. Tổng quan công nghệ khắc sử dụng mũi dò quét ....................................... 1 1.1.1. Lịch sử của công nghệ khắc mũi dò quét .................................................. 1 1.1.2. Cấu trúc cơ bản của hệ thống khắc sử dụng mũi dò quét .......................... 4 1.1.3. Kỹ thuật khắc sử dụng mũi dò quét chế tạo cấu trúc nano ........................ 5 1.1.4. Các phương pháp chấp hành đầu dò khắc ................................................. 9 1.2. Tình hình nghiên cứu về khắc sử dụng mũi dò quét trên thế giới .......... 14 1.2.1. Mũi dò quét và phương pháp chế tạo ...................................................... 14 1.2.2. Cấu trúc lò xo vi cơ gắn mũi dò quét và vấn đề còn tồn tại .................... 17 1.2.3. Các giải pháp khắc phục nhược điểm của lò xo vi cơ dầm thẳng ........... 19 1.2.4. Hiệu suất khắc đầu dò quét ...................................................................... 22 1.2.5. Một số nghiên cứu kỹ t ...