Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu: Nghiên cứu thiết kế, mô phỏng và khảo sát hoạt động của một số kênh dẫn sóng plasmonic dạng nêm

Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu "Nghiên cứu thiết kế, mô phỏng và khảo sát hoạt động của một số kênh dẫn sóng plasmonic dạng nêm" trình bày cơ sở lý thuyết mô phỏng bằng phương pháp phần tử hữu hạn; Kênh dẫn sóng plasmonic dạng nêm dựa trên ăn mòn dị hướng ướt; Kênh dẫn sóng plasmonic lai; Kênh dẫn sóng plasmonic lai tùy biến.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu: Nghiên cứu thiết kế, mô phỏng và khảo sát hoạt động của một số kênh dẫn sóng plasmonic dạng nêm BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI NGUYỄN THANH HƯƠNG NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ, MÔ PHỎNG VÀKHẢO SÁT HOẠT ĐỘNG CỦA MỘT SỐ KÊNH DẪN SÓNG PLASMONIC DẠNG NÊM LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU Hà Nội - 2022 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI NGUYỄN THANH HƯƠNG NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ, MÔ PHỎNG VÀKHẢO SÁT HOẠT ĐỘNG CỦA MỘT SỐ KÊNH DẪN SÓNG PLASMONIC DẠNG NÊM Ngành: Khoa học Vật liệu Mã số: 9440122 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: 1. PGS.TS. CHU MẠNH HOÀNG 2. TS. PHẠM ĐỨC THÀNH Hà Nội - 2022 LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của riêng tôi dưới sự hướngdẫn của PGS. TS. Chu Mạnh Hoàng và TS. Phạm Đức Thành. Các số liệu và kếtquả trong luận án là hoàn toàn trung thực và chưa từng được ai công bố trongbất kỳ công trình khoa học nào khác. Thay mặt Tập thể hướng dẫn Tác giả PGS. TS. Chu Mạnh Hoàng Nguyễn Thanh Hương i LỜI CẢM ƠN Trước hết, tôi xin bày tỏ lòng kính trọng và biết ơn sâu sắc đến PGS.TS.Chu Mạnh Hoàng và TS. Phạm Đức Thành, những người thầy đã truyền độnglực nghiên cứu cho tôi, đã tận tình hướng dẫn, giúp đỡ và tạo mọi điều kiệnthuận lợi cho tôi trong suốt quá trình học tập, nghiên cứu và thực hiện luận án.Nhờ sự chỉ bảo tận tình của các thầy, tôi đã có được những kiến thức về khoahọc vật liệu, về các công nghệ chế tạo, những kinh nghiệm và phương phápnghiên cứu và trên hết là có được sự kiên trì đi theo con đường nghiên cứu khoahọc. Tôi xin chân thành cảm ơn Viện ITIMS, trường ĐH Bách Khoa Hà Nội,trường ĐH Kinh tế Quốc dân đã tạo điều kiện về thời gian, vật chất và tinh thầngiúp tôi hoàn thành luận án. Tôi xin chân thành cảm ơn GS.TS. Vũ Ngọc Hùng, TS. Vũ Thu Hiền,cùng các anh, chị, em trong phòng thí nghiệm MEMS, Viện ITIMS: ThS.Nguyễn Văn Chính, TS. Nguyễn Ngọc Minh, TS. Đặng Văn Hiếu, TS. NguyễnVăn Minh, TS. Nguyễn Thị Quỳnh Chi, PGS.TS. Ngô Đức Quân, ThS. NguyễnNgọc Sơn, ThS. Lê Văn Tâm… đã chia sẻ những kinh nghiệm nghiên cứu khoahọc, đã động viên và có những thảo luận góp ý giúp tôi hoàn thành luận án. Tôi xin chân thành cảm ơn TS. Nguyễn Văn Toán đã tạo điều kiện vàhướng dẫn tôi sử dụng các thiết bị và làm việc trong phòng sạch. Tôi cũng xin được gửi lời cảm ơn tới những người thân, bạn bè và đồngnghiệp đã luôn ở bên, động viên khích lệ tôi trong thời gian qua. Tôi xin cảm ơncác cán bộ, giảng viên ở bộ môn Công nghệ thông tin, trường ĐH Kinh tế Quốcdân đã quan tâm, hỗ trợ tôi trong công việc để tôi tập trung hoàn thành luận án. Cuối cùng, tôi xin giành lời cảm ơn cho gia đình, gia đình là hậu phươngvững chắc, là chỗ dựa tinh thần để tôi có thể yên tâm nghiên cứu trong suốt thờigian vừa qua. Hà Nội, ngày tháng năm 2022 Tác giả Nguyễn Thanh Hương ii MỤC LỤCLỜI CAM ĐOAN................................................................................................... iLỜI CẢM ƠN ....................................................................................................... iiDANH MỤC TỪ VIẾT TẮT ............................................................................... viDANH MỤC HÌNH VẼ ...................................................................................... viiDANH MỤC BẢNG .......................................................................................... xiiiMỞ ĐẦU ............................................................................................................... 1CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN ................................................................................. 5 1.1. GIỚI THIỆU CHUNG VỀ KÊNH DẪN SÓNG PLASMONIC ............... 5 1.1.1. Sơ lược quá trình phát triển .................................................................. 5 1.1.2. Các ứng dụng của plasmonic ................................................................ 7 1.1.3. Cơ sở lý thuyết polariton plasmon bề mặt .......................................... 11 1.1.4. Nguyên lý cơ bản của polariton plasmon bề mặt ............................... 12 1.1.5. Các phương pháp kích thích kết cặp polariton plasmon bề mặt......... 16 1.1.6. Phân loại kênh dẫn sóng plasmonic .................................................... 18 1.2. KÊNH DẪN SÓNG DẠNG NÊM ........................................................... 20 1.2.1. Cấu trúc kênh dẫn sóng dạng nêm truyền thống ................................ 20 1.2.2. Các kênh dẫn sóng dạng nêm lai ........................................................ 21 1.2.3. Một số ứng dụng cơ bản của kênh dẫn sóng plasmon dạng nêm ....... 23 1.3. KÊNH DẪN SÓNG DẠNG RÃNH ......................................................... 25 1.3.1. Cấu trúc kênh dẫn sóng dạng rãnh truyền thống ................................ 25 1.3.2. Các kênh dẫn sóng dạng rãnh lai ........................................................ 27 1.3.3. Một số ứng dụng cơ bản của kênh dẫn sóng dạng rãnh ..................... 27 1.4. KÊNH DẪN SÓNG KHE HẸP LAI ........................................................ 29 1.5. CÁC CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO KÊNH DẪN SÓNG PLASMONIC DẠNG NÊM ..................................................................................... ...