Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật điều khiển và tự động hóa: Nghiên cứu cải thiện độ nhạy của cảm biến từ trường dựa trên nguyên lý sóng âm bề mặt có kết hợp với vật liệu từ

Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật điều khiển và tự động hóa "Nghiên cứu cải thiện độ nhạy của cảm biến từ trường dựa trên nguyên lý sóng âm bề mặt có kết hợp với vật liệu từ" trình bày các nội dung chính sau: Tổng quan về cảm biến từ dạng sóng âm bề mặt; Lựa chọn cấu trúc và mô phỏng cải thiện độ nhạy cho cảm biến từ SAW-MO; Nghiên cứu chế tạo cảm biến từ SAW-MO trên cơ sở vật liệu nhạy từFeNiPVA.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật điều khiển và tự động hóa: Nghiên cứu cải thiện độ nhạy của cảm biến từ trường dựa trên nguyên lý sóng âm bề mặt có kết hợp với vật liệu từ BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI ĐỖ DUY PHÚ NGHIÊN CỨU CẢI THIỆN ĐỘ NHẠY CỦA CẢM BIẾNTỪ TRƯỜNG DỰA TRÊN NGUYÊN LÝ SÓNG ÂM BỀ MẶT CÓ KẾT HỢP VỚI VẬT LIỆU TỪ LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT ĐIỀU KHIỂN VÀ TỰ ĐỘNG HÓA Hà Nội - 2024 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI ĐỖ DUY PHÚ NGHIÊN CỨU CẢI THIỆN ĐỘ NHẠY CỦA CẢM BIẾNTỪ TRƯỜNG DỰA TRÊN NGUYÊN LÝ SÓNG ÂM BỀ MẶT CÓ KẾT HỢP VỚI VẬT LIỆU TỪ Ngành: Kỹ thuật điều khiển và tự động hóa Mã số: 9520216 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT ĐIỀU KHIỂN VÀ TỰ ĐỘNG HÓA NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: 1. PGS.TS. HOÀNG SĨ HỒNG 2. PGS.TS. LÊ VĂN VINH Hà Nội - 2024 LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan các kết quả trình bày trong luận án là công trình nghiên cứucủa tôi dưới sự hướng dẫn của PGS.TS Hoàng Sĩ Hồng và PGS.TS Lê Văn Vinh.Luận án được thực hiện hoàn toàn trong thời gian tôi là nghiên cứu sinh tại Đại họcBách khoa Hà Nội. Các kết quả, số liệu trình bày trong luận án hoàn toàn trung thựcvà chưa được công bố trong bất kỳ công trình nào trước đây. Các kết quả sử dụngtham khảo từ các công trình đã được công bố đều được trích dẫn một cách rõ ràng vàtheo đúng quy định. Tất cả những tham khảo trong luận án được trích dẫn và thamchiếu đầy đủ. Hà Nội, ngày …. tháng …. năm 2024 Tập thể hướng dẫn khoa học Nghiên cứu sinhPGS.TS. Hoàng Sĩ Hồng PGS.TS. Lê Văn Vinh Đỗ Duy Phú i LỜI CÁM ƠN Trong quá trình thực hiện đề tài “Nghiên cứu cải thiện độ nhạy của cảm biến từtrường dựa trên nguyên lý sóng âm bề mặt có kết hợp với vật liệu từ”, nghiên cứusinh (NCS) đã nhận được rất nhiều sự quan tâm, giúp đỡ và tạo điều kiện của BanGiám hiệu, tập thể lãnh đạo, ban đào tạo, các phòng ban chức năng, các cán bộ,chuyên viên Đại học Bách khoa Hà Nội. NCS xin được bày tỏ lời cảm ơn chân thànhvề sự quan tâm giúp đỡ đầy quý báu đó. NCS cũng chân thành cảm ơn Ban lãnh đạo trường Điện – Điện tử, Viện ITIMS,nay là trường Vật liệu – Đại học Bách khoa Ha Nội, các nhà khoa học nơi tôi nghiêncứu đã tạo điều kiện, giúp đỡ và luôn động viên trong suốt quá trình nghiên cứu vàhoàn thành luận án. NCS xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc tới các thầy hướng dẫn những người đã trựctiếp hướng dẫn, chỉ bảo, theo sát và luôn động viên tôi trong suốt quá trình thực hiệnnghiên cứu để tôi hoàn thành luận án này. NCS xin chân thành cảm ơn Ban lãnh đạo cơ quan nơi tôi công tác cùng các đồngnghiệp, bạn bè đã tạo điều kiện và giúp đỡ tôi trong suốt quá trình thực hiện luận án. NCS xin chân thành cảm ơn gia đình của tôi đã luôn động viên, khích lệ, tạo điềukiện và giúp đỡ tôi trong suốt quá trình thực hiện và hoàn thành luận án. Tôi xin chân thành cảm ơn! Tác giả luận án Đỗ Duy Phú ii MỤC LỤCLỜI CAM ĐOAN ...................................................................................................... iLỜI CÁM ƠN ........................................................................................................... iiMỤC LỤC ................................................................................................................ iiiDANH MỤC HÌNH VẼ VÀ BIỂU ĐỒ ................................................................... vDANH MỤC BẢNG BIỂU ................................................................................... viiiDANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT ..................................................................... ixDANH MỤC CÁC KÝ HIỆU ................................................................................. xiMỞ ĐẦU .................................................................................................................... 1Chương 1. Tổng quan về cảm biến từ dạng sóng âm bề mặt ............................... 4 1.1. Tổng quan về cảm biến từ ................................................................................ 4 1.2. Đặt vấn đề ........................................................................................................ 9 1.2.1. Tình hình nghiên cứu trên thế giới .......................................................... 11 1.2.2. Tình hình nghiên cứu trong nước ............................................................ 18 1.2.3. Thách thức của luận án ............................................................................ 19 1.3. Cơ sở lý thuyết sự hình thành sóng âm trong chất rắn ................................... 21 1.4. Các hiệu ứng và lựa chọn loại vật liệu ........................................................... 36 1.4.1. Hiệu ứng áp điện và lựa chọn vật liệu ..................................................... 36 1.4.2. Hiệu ứng từ giảo và lựa chọn vật liệu ...................................................... 38 1.4.3. Nguyên lý hình thành sóng âm bề mặt .................................................... 40 1.5. Các phương pháp mô phỏng .......................................................................... 42 1.5.1. Phương pháp phần tử hữu hạn ................................................................. 42 1.5.2. Phương pháp động lực học phân tử ................................................. ...