Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật: Nghiên cứu phương pháp và xây dựng mô hình thiết bị đo cấu trúc hình học ba chiều bề mặt tế vi của chi tiết quang cơ theo nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng

Mục đích chính của luận án là nghiên cứu phương pháp và xây dựng mô hình thiết bị đo cấu trúc hình học ba chiều bề mặt tế vi của chi tiết quang cơ theo nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng là nghiên cứu phát triển mô hình thiết bị đo cấu trúc hình học ba chiều của bề mặt tế vi chi tiết quang, cơ trên cơ sở sử dụng WLI.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật: Nghiên cứu phương pháp và xây dựng mô hình thiết bị đo cấu trúc hình học ba chiều bề mặt tế vi của chi tiết quang cơ theo nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO BỘ QUỐC PHÒNG HỌC VIỆN KỸ THUẬT QUÂN SỰ PHAN NGUYÊN NHUỆ NGHIÊN CỨU PHƯƠNG PHÁP VÀ XÂY DỰNG MÔ HÌNH THIẾT BỊ ĐOCẤU TRÚC HÌNH HỌC BA CHIỀU BỀ MẶT TẾ VI CỦA CHI TIẾT QUANG CƠ THEO NGUYÊN LÝ GIAO THOA ÁNH SÁNG TRẮNG LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT HÀ NỘI – NĂM 2020 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO BỘ QUỐC PHÒNG HỌC VIỆN KỸ THUẬT QUÂN SỰ PHAN NGUYÊN NHUỆ NGHIÊN CỨU PHƯƠNG PHÁP VÀ XÂY DỰNG MÔ HÌNH THIẾT BỊ ĐOCẤU TRÚC HÌNH HỌC BA CHIỀU BỀ MẶT TẾ VI CỦA CHI TIẾT QUANG CƠ THEO NGUYÊN LÝ GIAO THOA ÁNH SÁNG TRẮNG Chuyên ngành: Kỹ thuật cơ khí Mã số: 9 52 01 03 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: 1. PGS. TS LÊ HOÀNG HẢI 2. PGS. TS DƯƠNG CHÍ DŨNG HÀ NỘI – NĂM 2020 i LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan các kết quả trình bày trong luận án là công trình nghiêncứu của tôi. Các số liệu, kết quả trình bày trong luận án là hoàn toàn trung thựcvà chưa được công bố trong bất kỳ công trình nào trước đây. Các kết quả sửdụng tham khảo đều được trích dẫn đầy đủ và theo đúng quy định. Hà Nội, ngày tháng năm 2020 Tác giả Phan Nguyên Nhuệ ii LỜI CẢM ƠN Trong quá trình học tập và nghiên cứu tại Học viện Kỹ thuật Quân sự, đểhoàn thành luận án này, tác giả đã nhận được nhiều sự giúp đỡ và đóng góp quýbáu của các thầy cô, các nhà khoa học, các nhà quản lý và các đồng nghiệp. Đầu tiên, tác giả xin bày tỏ lòng cảm ơn sâu sắc tới thầy giáo hướng dẫnPGS.TS Lê Hoàng Hải, PGS.TS Dương Chí Dũng đã tận tình hướng dẫn vàgiúp đỡ tác giả trong quá trình học tập và nghiên cứu. Tác giả xin chân thành cảm ơn Phòng Sau Đại học, Bộ môn Khí tài quanghọc, Khoa Vũ khí - Học viện Kỹ thuật Quân sự đã tạo điều kiện thuận lợi đểtác giả hoàn thành nhiệm vụ. Cuối cùng, tác giả xin bày tỏ lòng cảm ơn đến gia đình, bạn bè, các đồngnghiệp đã luôn động viên, giúp đỡ tác giả vượt qua khó khăn trong suốt quátrình làm luận án. TÁC GIẢ iii MỤC LỤCLỜI CAM ĐOAN .............................................................................................. iLỜI CẢM ƠN ................................................................................................... iiMỤC LỤC ....................................................................................................... iiiDANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT VÀ KÝ HIỆU ...................................... viDANH MỤC CÁC BẢNG .............................................................................. ixDANH MỤC CÁC HÌNH VẼ, ĐỒ THỊ ........................................................... xMỞ ĐẦU .......................................................................................................... 1Chương 1 ĐO CẤU TRÚC HÌNH HỌC BỀ MẶT, NHỮNG TIẾN BỘVÀ TỒN TẠI.................................................................................................. 10 1.1. Tổng quan về đo cấu trúc hình học bề mặt ........................................... 10 1.2. Sự phát triển thiết bị đo lường cấu trúc hình học bề mặt ...................... 13 1.3. Cấu trúc hình học bề mặt ...................................................................... 14 1.4. Các kỹ thuật và thiết bị đo lường cấu trúc hình học bề mặt .................. 16 1.4.1. Kỹ thuật đo cấu trúc hình học bề mặt bằng phương pháp tiếp xúc . 16 1.4.2. Kỹ thuật đo cấu trúc hình học bề mặt bằng phương pháp không tiếp xúc ...................................................................................................... 21 1.4.3. So sánh các loại thiết bị đo cấu trúc hình học bề mặt ..................... 29 1.5. Kết luận chương 1 ................................................................................. 30Chương 2 ĐO CẤU TRÚC HÌNH HỌC BA CHIỀU BỀ MẶT BẰNG GIAOTHOA ÁNH SÁNG TRẮNG - CƠ SỞ LÝ THUYẾT VÀ KỸ THUẬT XỬ LÝ ................................................................................................................ 31 2.1. Giới thiệu chung về WLI ...................................................................... 31 2.2 ...