Luận án Tiến sĩ: Mô phỏng và tối ưu hóa vi gắp có cảm biến dùng để thao tác với các vi vật thể

Luận án này sẽ trình bày về mô phỏng, tính toán, tối ưu cấu trúc vi gắp nhiệt điện silic-polyme tích hợp cảm biến. Tiếp theo, việc thiết kế hệ điều khiển tích hợp cho vi gắp này được đề cập. Mục tiêu của luận án là hoàn chỉnh mô hình mô phỏng cùng công thức toán học cho vi gắp, từ đó có thể tối ưu nhiệt độ hoạt động của vi gắp, và kết hợp với vi mạch điều khiển tích hợp để tạo thành một hệ thống hoàn chỉnh.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Luận án Tiến sĩ: Mô phỏng và tối ưu hóa vi gắp có cảm biến dùng để thao tác với các vi vật thểĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘITRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆPhan Hữu PhúMÔ PHỎNG VÀ TỐI ƯU HÓA VI GẮP CÓ CẢM BIẾNDÙNG ĐỂ THAO TÁC VỚI CÁC VI VẬT THỂLUẬN ÁN TIẾN SĨCÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ, TRUYỀN THÔNGHà Nội – 2016ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘITRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆPhan Hữu PhúMÔ PHỎNG VÀ TỐI ƯU HÓA VI GẮP CÓ CẢM BIẾNDÙNG ĐỂ THAO TÁC VỚI CÁC VI VẬT THỂChuyên ngành: Kỹ thuật điện tửMã số: 62 52 02 03LUẬN ÁN TIẾN SĨNGÀNH CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ, TRUYỀN THÔNGNGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC:1. PGS. TS. CHỬ ĐỨC TRÌNH2. PGS. TS. VŨ NGỌC HÙNGHà Nội – 2016LỜI CẢM ƠNTrước tiên, tác giả tỏ lòng biết ơn sâu sắc tới PGS. TS. Chử Đức Trình, PGS. TSVũ Ngọc Hùng đã luôn tâm huyết, nhiệt tình hướng dẫn, quan tâm và hỗ trợ về tàiliệu, thiết bị và phương pháp luận trong suốt thời gian thực hiện nghiên cứu để tác giảhoàn thành Luận án này.Tác giả xin cảm ơn chân thành tới các thầy cô trong Khoa Điện tử Viễn thông,Trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia Hà Nội đã luôn quan tâm, giúp đỡ,hướng dẫn cũng như tạo điều kiện thuận lợi nhất cho nghiên cứu sinh trong quá trìnhhọc tập và nghiên cứu tại trường.Tác giả xin chân thành cám ơn tới nhóm nghiên cứu ở Bộ môn Vi cơ điện tử,Khoa Điện tử Viễn thông đã hỗ trợ tôi trong quá trình mô phỏng, đo đạc và thu thập sốliệu cho các nghiên cứu thuộc phạm vi của Luận án này.Tác giả cũng xin trân trọng cảm ơn đơn vị công tác – Cục Sở hữu trí tuệ, BộKhoa học và Công nghệ đã tạo mọi điều kiện thuận lợi, chia sẻ khó khăn, động viêntác giả trong suốt thời gian học tập, nghiên cứu để hoàn thành Luận án này.Cuối cùng, tác giả muốn cảm ơn tới tất cả bạn bè, và đặc biệt là vợ, bố mẹ và cácthành viên khác trong gia đình luôn quan tâm động viên và chia sẻ những lúc khó khănvề tinh thần và vật chất.Hà Nội, ngày 22 tháng 12 năm 2016Phan Hữu PhúLỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan luận án “Mô phỏng và tối ưu hóa vi gắp có cảm biến dùng đểthao tác với các vi vật thể” là công trình nghiên cứu của bản thân và không nằm trongmột luận án, luận văn hay khóa luận của khóa học bất kỳ tại các cơ sở đào tạo nàokhác.Những trích dẫn tài liệu tham khảo trong luận án đã được nêu rõ trong phần tàiliệu tham khảo. Các số liệu, kết quả trình bày trong luận án là hoàn toàn trung thực.Nếu sai tôi xin hoàn toàn chịu trách nhiệm và thi hành kỷ luật của khoa, trường đề ra.Hà nội, ngày 22 tháng 12 năm 2016Nghiên cứu sinhPhan Hữu PhúMỤC LỤCCÁC KÝ HIỆU, VIẾT TẮT ......................................................................................... viDANH MỤC HÌNH ẢNH ............................................................................................. xDANH MỤC CÁC BẢNG ......................................................................................... xiiiMỞ ĐẦU ...................................................................................................................... 1Chương 1.TỔNG QUAN ....................................................................................... 51.1 Vi gắp và cảm biến dùng cho vi gắp ..................................................................... 51.1.1 Định nghĩa vi gắp ................................................................................ 51.1.2 Cảm biến dùng cho vi gắp ................................................................... 51.2 Giới thiệu các loại vi gắp ...................................................................................... 61.2.1 Phân loại vi gắp ................................................................................... 61.2.2 Vi gắp tĩnh điện ................................................................................... 61.2.3 Vi gắp nhiệt điện ............................................................................... 111.2.4 Vi gắp khí nén ................................................................................... 151.2.5 Vi gắp điện từ .................................................................................... 171.2.6 Hợp kim định hình ............................................................................ 171.2.7 Các loại vi gắp khác .......................................................................... 191.3 Giới thiệu các loại cảm biến dùng cho vi gắp ...................................................... 211.3.1 Cảm biến quang học .......................................................................... 211.3.2 Cảm biến lực áp trở ........................................................................... 221.3.3 Cảm biến lực điện dung ..................................................................... 231.4 So sánh các loại vi gắp và cảm biến dùng cho vi gắp .......................................... 241.4.1 So sánh giữa các loại vi gắp ............................................................... 241.4.2 So sánh giữa các loại cảm biến dùng cho vi gắp ............ ...