Luận án Tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (Al2O3) bằng phương pháp quang phổ

Đề tài đã mô phỏng quá trình phún xạ để hỗ trợ cho việc phún xạ màng Al2O3, mô phỏng ảnh phổ tử ngoại khả kiến để xác định các tham số quang theo phương pháp Swanepoel nhằm đối chứng với phương pháp tính và phương pháp đo tiếp xúc trên máy Dektak... Mời các bạn cùng tham khảo.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Luận án Tiến sĩ Vật lý: Nghiên cứu chế tạo và khảo sát màng mỏng ôxit nhôm (Al2O3) bằng phương pháp quang phổ ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP.HCM TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN GIANG VĂN PHÚCNGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁTMÀNG MỎNG ÔXIT NHÔM (Al2O3) BẰNG PHƯƠNG PHÁP QUANG PHỔ LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH – 2011 ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP.HCM TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN TP.HCM GIANG VĂN PHÚC NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT MÀNG MỎNG ÔXIT NHÔM (Al2O3) BẰNG PHƯƠNG PHÁP QUANG PHỔChuyên ngành : Vật lý Quang họcMã số: 1.02.18 LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC GS.TS. NGUYỄN VĂN ĐẾN PGS.TS.HUỲNH THÀNH ĐẠT THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH – 2011LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ Tác giả: GIANG VĂN PHÚCNGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌCPGS.TS. HUỲNH THÀNH ĐẠT Cộng Hòa Xã Hội Chủ Nghĩa Việt Nam Độc lập – Tự do – Hạnh phúc. ……………………….………………………………. LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của tôi, nhóm do tôi phụ trách và thầyhướng dẫn. Các số liệu, kết quả trong luận án là trung thực và chưa từng được ai công bố trongbất kỳ công trình nào khác mà tôi không tham gia. Tác giả luận án Giang Văn Phúc i MỤC LỤCPHẦN MỞ ĐẦU...........................................................................................................1PHẦN I: TỔNG QUAN...............................................................................................71. CHƯƠNG 1: VẬT LIỆU Al2O3 ...........................................................................7 1.1. Khái quát về ôxit nhôm (Al2O3)...............................................................................7 1.2. Tính đa hình của ôxit nhôm .....................................................................................7 1.3. Các pha của Al2O3.....................................................................................................8 1.4. Màng mỏng Al2O3 ...................................................................................................15 1.5. Các hoạt động IR và Raman của Al2O3 ................................................................162. CHƯƠNG 2: CÁC PHƯƠNG PHÁP TẠO MÀNG MỎNG............................21 2.1. Phương pháp ngưng tụ từ dung dịch ....................................................................21 2.2. Phương pháp phún xạ magnetron.........................................................................22 2.3. Phương pháp điện hóa............................................................................................25 2.4. Một số tính chất màng mỏng đã được ứng dụng .................................................273. CHƯƠNG 3: MÔ PHỎNG TRONG VẬT LÝ ..................................................30 3.1. Tổng quan ................................................................................................................30 3.2. Cơ sở của mô phỏng................................................................................................30 3.3. Hệ thống – mô hình – giải pháp.............................................................................31 3.4. Ưu khuyết điểm của phương pháp mô phỏng ......................................................33 3.5. Một số phương pháp mô phỏng.............................................................................34 3.6. Các kỹ thuật mô phỏng...........................................................................................35 3.7. Một số mô hình mô phỏng trong vật lý màng mỏng............................................35 3.8. Kết luận....................................................................................................................42 PHẦN II: THỰC NGHIỆM............................................................................................434. CHƯƠNG 4: MÔ PHỎNG PHÚN XẠ MAGNETRON − MÔ PHỎNG PHỔ UVVIS VÀ TẠO MẪU MÀNG Al2O3 .............................................................43 4.1. Mô phỏng phún xạ ..................................................................................................43 4.2. Một số thông tin ban đầu chuẩn bị cho mô phỏng...............................................44 4.3. Thực hiện mô phỏng phún xạ ................................................................................49 4.4. Mô phỏng phổ UVVIS ............................................................................................61 ...