Luận án Tiến sĩ Vật lý: Tạo màng dẫn điện trong suốt bằng phương pháp phún xạ Magnetron

Luận án đã chứng tỏ mô hình hàm điện môi dựa trên lý thuyết cổ điển Drude mở rộng và dao động Lorentz mô tả rất tốt phổ đo truyền qua của màng mỏng ITO và GZO. Mô hình Lorentz sử dụng trong luận án lần đầu tiên áp dụng để tính toán sự dịch chuyển của bờ hấp thụ của màng ITO và GZO... Mời các bạn cùng tham khảo
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Luận án Tiến sĩ Vật lý: Tạo màng dẫn điện trong suốt bằng phương pháp phún xạ Magnetron ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP. HCM TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN ------------------------- Trần Cao Vinh TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐTBẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ Thành phố Hồ Chí Minh - 2009 ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP. HCM TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN ------------------------- Trần Cao Vinh TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐTBẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRONChuyên ngành: Quang họcMã số: 1.02.18 LUẬN ÁN TIẾN SĨ VẬT LÝ NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC GS.TS. NGUYỄN HỬU CHÍ Thành phố Hồ Chí Minh - 2009 2 LỜI CẢM ƠN Tôi xin chân thành cảm ơn GS.TS. Nguyễn Hửu Chí, người đã tận tình hướngdẫn tôi thực hiện công trình nghiên cứu này. Thầy đã luôn ủng hộ và động viên tôihoàn thành bản luận án. Tôi xin chân thành cảm ơn sự trợ giúp nhiệt tình của các Thầy Cô, các bạn đồngnghiệp và các em sinh viên Bộ môn Vật lý Ứng dụng. Tôi xin chân thành cảm ơnĐội ngũ cán bộ tại Phòng thí nghiệm Vật lý Chân không, Phòng thí nghiệm Vật liệuKỹ thuật cao, Phòng thí nghiệm Khoa học Vật liệu Trường Đại học Khoa học TựNhiên - Đại học Quốc Gia Thành phố Hồ Chí Minh đã tạo điều kiện giúp tôi thựchiện công trình nghiên cứu. Cảm ơn Ba Mẹ Trần Vũ – Song Tùng đã nuôi nấng và dạy dỗ con nên người.Cảm ơn tất cả thành viên trong gia đình đã cùng chung sống trong sự thương yêuvà hòa thuận. Cảm ơn Mai Thuận và Mai An, người vợ và con gái đã luôn bên cạnh và lànguồn động lực giúp tôi hoàn thành luận án này. Trần Cao Vinh LỜI CAM ĐOAN Tôi là Trần Cao Vinh, nghiên cứu sinh chuyên ngành Quang học của trườngĐại học Khoa học Tự nhiên, Đại học Quốc gia Tp. HCM, đã hoàn thành bản Luậnán và xin cam đoan rằng các số liệu kết quả nêu trong Luận án là trung thực và chưađược công bố trong bất kì công trình nào mà tôi không tham gia. Tác giả Trần Cao Vinh 187 MỤC LỤCMỞ ĐẦU.....................................................................................................................1CHƯƠNG 1. ÔXÍT DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT...................................................5 1.1. Các thông số công nghệ đặc trưng của TCO ...............................................5 1.2. Vật liệu ITO và ZnO .....................................................................................10 1.3. Tính chất quang học của ôxít dẫn điện trong suốt (TCO) .................................12CHƯƠNG 2. THỰC NGHIỆM VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU ............. 28 2.1. Phương pháp phún xạ magnetron...............................................................28 2.2. Quá trình thực nghiệm và các phép đo.......................................................28 2.3. Xác định các tính chất quang học của màng mỏng ITO và GZO từ phổ truyền qua bằng mô hình hàm điện môi.....................................................28CHƯƠNG 3. MÀNG MỎNG ITO....................................................................... 28 3.1. Giới thiệu....................................................................................................28 3.2. Xác định tính chất quang học của màng ITO từ phổ truyền qua ...............28 3.3. Ảnh hưởng của quá trình chế tạo lên tính chất điện và quang của màng ITO trong phương pháp phún xạ magnetron dc .........................................28 3.4. Cơ chế chuyển đổi định hướng ưu tiên của các mặt tinh thể trong quá trình tăng trưởng màng mỏng ITO......................................................................28 3.5. Tăng cường định hướng tinh thể ITO theo mặt (222) dựa trên lớp đệm ZnO và lớp đệm ITO ..................................................................................28 3.6. Kết luận ......................................................................................................28CHƯƠNG 4. MÀNG MỎNG GZO ..................................................................... 28 4.1. Giới thiệu....................................................................................................28 4.2. Chế tạo bia gốm dẫn điện GZO..................................................................28 4.3. Sự hình thành ion âm trong phún xạ từ bia ZnO pha tạp ...........................28 4.4. Xác định tính chất quang học của màng GZO từ phổ truyền qua..............28 4.5. Ảnh hưởng của quá trình chế tạo lên tính chất điện và quang của màng GZO trong phương pháp phún xạ magnetron RF ......................................28 4.6. Kết luận ......................................................................................................28KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ ................................................................................. 28DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH ......................................................................... 28TÀI LIỆU THAM KHẢO ....................................................................................... 28 DANH MỤC CÁC BẢNGMỞ ĐẦUCHƯƠNG 1. ÔXÍT DẪN ĐIỆN TRONG SUỐTCHƯƠNG 2. THỰC NGHIỆM VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨUBảng 2.1 Các thông số trong hàm điện môi Drude mở rộng và Loren ...