luận văn: NGHIÊN CỨU QUY TRÌNH CÔNG NGHỆ QUANG KHẮC TRONG PHÒNG SẠCH SỬ DỤNG CHẾ TẠO LINH KIỆN KÍCH THƯỚC MICRO

Quang khắc là kỹ thuật đã được phát triển từ đầu thế kỷ 20, và được sử dụng rộng rãi nhất trong công nghiệp bán dẫn để chế tạo các vi mạch điện tử trên các phiến Si. Ngoài ra, quang khắc được sử dụng trong ngành khoa học và công nghệ vật liệu để chế tạo các chi tiết vật liệu nhỏ, chế tạo các linh kiện vi cơ điện tử (MEMS). Có thể nói quang khắc là khâu bắt buộc trong ngành chế tạo vi linh kiện...
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
luận văn:NGHIÊN CỨU QUY TRÌNH CÔNG NGHỆ QUANG KHẮC TRONG PHÒNG SẠCH SỬ DỤNG CHẾ TẠO LINH KIỆN KÍCH THƯỚC MICRO ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƢỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ Trần Anh Quang NGHIÊN CỨU QUY TRÌNH CÔNG NGHỆ QUANGKHẮC TRONG PHÒNG SẠCH SỬ DỤNG CHẾ TẠO LINH KIỆN KÍCH THƢỚC MICRO KHOÁ LUẬN TỐT NGHIỆP ĐẠI HỌC HỆ CHÍNH QUY Ngành: Vật Lý Kỹ Thuật HÀ NỘI – 2011 ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƢỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ Trần Anh Quang NGHIÊN CỨU QUY TRÌNH CÔNG NGHỆ QUANG KHẮC TRONG PHÒNG SẠCH SỬ DỤNG CHẾ TẠO LINH KIỆN KÍCH THƢỚC MICRO KHOÁ LUẬN TỐT NGHIỆP ĐẠI HỌC HỆ CHÍNH QUY Ngành: Vật Lý Kỹ ThuậtCán bộ hướng dẫn: Ths. Bùi Đình Tú HÀ NỘI - 2011 Lời cảm ơn Trước hết, em xin chân thành gửi lời cảm ơn tới Thạc sĩ: Bùi Đình Tú. Ngườithầy đã tận tình hướng dẫn, chỉ bảo em những kiến thức còn thiếu hụt trong suốt quátrình thực nghiệm và viết khóa luận. Cùng với sự ủng hộ sâu sắc của thầy đã giúp emhoàn thành khóa luận này. Em xin gửi lời cảm ơn sâu sắc tới Thầy, cô cùng các anh, chị trong Phòng thínghiệm công nghệ Nano đã giúp đỡ và tạo điều kiện trong suốt thời gian em làm việctại phòng. Cuối cùng em xin gửi lời cảm ơn tới các thầy, các cô trong khoa Vật Lý KỹThuật và Công Nghệ Nano cùng toàn thể thầy cô trong trường Đại Học Công nghệ -Đại Học Quốc Gia Hà Nội đã giúp đỡ tạo điều kiện và cung cấp kiến thức khoa họccơ bản trong suốt bốn năm học qua. Sinh viên: Trần Anh Quang Tóm tắt nội dung Khóa luận này nghiên cứu về các quy trình chế tạo các cấu trúc kích thướcmicro-met bằng công nghệ quang khắc được thực hiện trong phòng sạch. Bao gồm cácnghiên cứu về: ảnh hưởng của nhiệt độ nung mẫu ban đầu, thời gian chiếu sáng UV,tốc độ quay phủ mẫu, thời gian chiếu sáng UV lần 2 đến chất lượng của màng, tốc độrửa trôi của chất cảm quang, độ dày màng sau khi quang khắc. Từ đó tìm ra các thôngsố phù hợp để tạo ra một cấu trúc linh kiện kích thước micro-met hoàn chỉnh. Lời Cam Đoan Tôi cam đoan đây là công trình nghiên cứu của tôi dưới sự hướng dẫn của ThS.Bùi Đình Tú. Các kết quả trong khóa luận này là do chúng tôi thực nghiệm và khảosát. Tôi xin chịu hoàn toàn trách nhiệm trước nhà trường về lời cam đoan này. Hà Nội, ngày 22 tháng 5 năm 2011 Sinh viên: Trần Anh QuangMỞ ĐẦU ................................................................................................................................... 1CHƢƠNG 1. TỔNG QUAN VỀ CÔNG NGHỆ KHẮC HÌNH ...................................................2 1.1 Quang khắc ..................................................................................................................2 1.1.1. Định nghĩa ............................................................................................................2 1.1.2. Kỹ thuật quang khắc ............................................................................................2 1.1.3. Nguyên lý hệ quang khắc ......................................................................................4 1.1.4. Ứng dụng của quang khắc ....................................................................................5 1.2. Quy trình quang khắc ..................................................................................................5 1.3. Các phương pháp khắc hình khác ................................................................................8 1.3.1. Khắc hình bằng chùm tia điện tử ..........................................................................8 1.3.2 Khắc hình bằng tia X ..................................................................................................9 1.3.3. Quang khắc ướt........................................................................................................ 10 1.4. Tổng quan về phòng sạch ........................................................................................... 11 1.4.1. Định nghĩa về phòng sạch ................................................................................... 11 1.4.2. Các tiêu chuẩn phòng sạch.................................................................................. 11 1.5. Các trang bị cần thiết cho phòng sạch ........................................................................ 14 1.6. Kết luận chương 1 .................................................................................... ...