Luận văn Thạc sĩ Công nghệ thông tin: Nghiên cứu ảnh hưởng của nhiệt độ phản ứng lên cấu trúc nano của graphite nhiệt phân (PG) tổng hợp bằng phương pháp CVD

Luận văn "Nghiên cứu ảnh hưởng của nhiệt độ phản ứng lên cấu trúc nano của graphite nhiệt phân (PG) tổng hợp bằng phương pháp CVD" đặt ra mục tiêu là khảo sát rõ hơn sự ảnh hưởng của thông số nhiệt độ lên cấu trúc nano của tinh thể PG dựa trên những nghiên cứu đã có về việc tổng hợp Graphite nhiệt phân (PG) bằng phương pháp Lắng đọng pha hơi hóa học (CVD) tại Việt Nam.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Luận văn Thạc sĩ Công nghệ thông tin: Nghiên cứu ảnh hưởng của nhiệt độ phản ứng lên cấu trúc nano của graphite nhiệt phân (PG) tổng hợp bằng phương pháp CVDĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘITRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆHọ và tên: Trần Sĩ Trọng KhanhNGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘPHẢN ỨNG LÊN CẤU TRÚC NANO CỦAGRAPHITE NHIỆT PHÂN (PG) TỔNG HỢP BẰNGPHƯƠNG PHÁP CVDLUẬN VĂN THẠC SĨ CHUYÊN NGÀNH VẬT LIỆU VÀ LINHKIỆN NANOHÀ NỘI - 2016ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘITRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆTrần Sĩ Trọng KhanhNGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘPHẢN ỨNG LÊN CẤU TRÚC NANO CỦAGRAPHITE NHIỆT PHÂN (PG) TỔNG HỢP BẰNGPHƯƠNG PHÁP CVDChuyên ngành: Vật liệu và linh kiện nanoMã số: Chuyên ngành đào tạo thí điểmLUẬN VĂN THẠC SĨ CHUYÊN NGÀNH VẬT LIỆU VÀ LINHKIỆN NANONGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: GS.TS.Nguyễn Năng ĐịnhHÀ NỘI - 2016LỜI CẢM ƠNLuận văn thạc sĩ này được hoàn thành dưới sự hướng dẫn trực tiếp của GS.TS.Nguyễn Năng Định. Với lòng kính trọng và biết ơn sâu sắc, em xin chân thành cảmngười thầy kính yêu của mình về sự hướng dẫn tận tình trong thời gian thực hiện luậnvăn thạc sĩ này. Hơn nữa, trong những năm học tập tại khoa Vật lý kĩ thuật - Côngnghệ nano (trường Đại học Công nghệ, ĐHQGHN), thầy đã luôn giảng giải, truyềnđạt cho em những kiến thức bổ ích, hướng dẫn chúng em phương pháp tư duy trongkhoa học cũng như trong và cuộc sống thực tế.Em chân thành cảm ơn tập thể cán bộ của phòng thí nghiệm Viện Nghiên cứu ứngdụng và chuyển giao công nghệ cao (IHT) – thuộc Liên Hiệp các hội KH KT ViệtNam đã tận tình chỉ bảo hướng dẫn em thực hiện các công nghệ chế tạo vật liệugraphite nhiệt phân (PG).Em cũng xin gửi lời cảm ơn chân thành tới Ban chủ nhiệm khoa, thư kí văn phòngkhoa, ThS. Nguyễn Thị Hạnh cùng toàn thể các thày cô giáo, các cán bộ của khoa Vậtlý kỹ thuật và Công nghệ nano, PTN công nghệ nano đã nhiệt tình hướng dẫn, hỗ trợem trong quá trình học tập và thực hiện luận văn. Đặc biệt, em xin cảm ơn chị TrầnThị Thao, đã nhiệt tình chỉ bảo cho em biết cách tiến hành các thực nghiệm và phântích kết quả.Với lòng biết ơn và kính yêu sâu sắc, con xin gửi tới cha mẹ - chỗ dựa tinh thầnvững chắc cho chúng con. Cha mẹ đã không quản khó khăn, sắn sàng quên bản thânmình để lo cho chúng con điều kiện học tập và sinh sống tốt nhất trong suốt nhữngnăm tháng học tập ở trường ĐHCN.Học ViênLỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan không sao chép các tài liệu, công trình nghiên cứu của nhữngtác giả khác mà không chú thích rõ ràng trong phần tài liệu tham khảo. Tôi xin chịumọi trách nhiệm nếu trích dẫn kết quả của tác giả khác mà không chú thích rõ ràng!Hà Nội, ngày 26 tháng 4 năm 2016Học viên cao họcTrần Sĩ Trọng KhanhMỤC LỤCLỜI NÓI ĐẦU ............................................................................................................... 1CHƯƠNG 1 – PHẦN TỔNG QUAN ............................................................................ 21.1. Tổng quan về vật liệu Graphite ........................................................................... 21.1.1. Carbon ........................................................................................................... 21.1.2. Graphite ......................................................................................................... 41.1.3.Graphite nhiệt phân (PG) ............................................................................. 101.2. Phương pháp Lắng đọng pha hơi hóa học (CVD) ............................................. 121.2.1. Định nghĩa CVD .......................................................................................... 121.2.2.Các quá trình trong phương pháp CVD ....................................................... 131.2.3. Ưu nhược điểm của phương pháp CVD ...................................................... 161.2.4. Ứng dụng của phương pháp CVD ............................................................... 161.2.5. Phân loại các phương pháp CVD ................................................................ 16CHƯƠNG 2. PHẦN THỰC NGHIỆM ....................................................................... 182.1. Tổng hợp vật liệu Graphite nhiệt phân (PG) bằng phương pháp CVD ............. 182.1.1. Những thiết bị dùng trong quá trình CVD để tổng hợp PG. ....................... 182.1.2. Quá trình tổng hợp Graphite nhiệt phân bằng phương pháp CVD ............. 202.2. Khảo sát các tính chất của PG ........................................................................... 232.2.1. Khảo sát cấu trúc tinh thể bằng nhiễu xạ tia X ........................................... 232.2.2. Khảo sát cấu trúc tinh thể bằng hiển vi điện tử quét SEM .......................... 26CHƯƠNG 3. KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN ............................................................... 293.1. Nghiên cứu công nghệ chế tạo PG ở vùng nhiệt độ từ 900 đến 11000C. .......... 293.2. Nghiên cứu cấu trúc tinh thể dị hướng và nano của PG phụ thuộc vào nhiệt độCVD ..................... ...