Luận văn Thạc sĩ Khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng ZnO bằng phương pháp CVD

Đề tài nghiên cứu đã tiến hành tổng hợp và nghiên cứu tính chất một số β-đixetonat và cacboxylat kim loại có khả năng thăng hoa, sử dụng các phức chất này để chế tạo màng mỏng ZnO, nghiên cứu tính chất của màng. Mời các bạn cùng tham khảo nội dung chi tiết.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Luận văn Thạc sĩ Khoa học: Nghiên cứu chế tạo màng ZnO bằng phương pháp CVD ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƢỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN --------------------- Nguyễn Thị Thanh NgaNGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG ZnO BẰNG PHƢƠNG PHÁP CVD LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌC Hà Nội - Năm 2012 ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƢỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN --------------------- Nguyễn Thị Thanh NgaNGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG ZnO BẰNG PHƢƠNG PHÁP CVD Chuyên ngành: Hóa vô cơ Mã số: 60 44 25 LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌC NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: PGS. TS. Triệu Thị Nguyệt Hà Nội - Năm 2012 MỤC LỤCLỜI CẢM ƠNMỞ ĐẦU .............................................................................................................. 2CHƢƠNG I: TỔNG QUAN ............................................................................... 31.1. Khả năng tạo phức của Zn2+ ........................................................................ 31.2. Tổng quan về các phối tử ............................................................................ 41.2.1. Các β–đixeton và các β- đixetonat ............................................................. 41.2.1.1. Đặc điểm cấu tạo và khả năng tạo phức của các β-đixeton .................. 41.2.1.2. Khả năng thăng hoa của các β-đixetonat kim loạivà ứng dụng của chúng........................................................................................ 61.2.2. Axit cacboxylic và cacboxylat kim loại ..................................................... 81.2.2.1. Đặc điểm cấu tạo và khả năng tạo phứccủa các axit monocacboxylic ............................................................................... 81.2.2.2. Khả năng thăng hoa của các cacboxylat kim loạivà ứng dụng của chúng........................................................................................ 111.3. Màng mỏng và phương pháp lắng đọng hơi hóa học .................................. 121.3.1. Màng mỏng và ứng dụng của màng mỏng ................................................ 121.3.2. Các phương pháp chế tạo màng mỏng ...................................................... 151.3.3. Phương pháp lắng đọng hơi hoá học(Chemical Vapour Deposition – CVD) ............................................................... 171.4. Một số phương pháp nghiên cứu màng mỏng ............................................. 201.4.1. Phương pháp nhiễu xạ tia X (XRD) .......................................................... 201.4.2. Kính hiển vi điện tử quét (SEM) ............................................................... 221.4.3. Phương pháp phổ phát quang ................................................................... 231.4.4. Phương pháp phổ tử ngoại khả kiến (UV – Vis) ...................................... 251.4.5. Phương pháp đo bề dày màng và hình thái học bề mặt ........................... 26CHƢƠNG 2 – ĐỐI TƢỢNG, MỤC ĐÍCH, NỘI DUNG VÀ PHƢƠNG PHÁPNGHIÊN CỨU ..................................................................................................... 272.1. Đối tượng, mục đích và phương pháp nghiên cứu ...................................... 272.1.1. Axetylaxeton (HA) .................................................................................... 272.2. Các phương pháp nghiên cứu ...................................................................... 282.2.1. Xác định hàm lượng kim loại trong phức chất. ........................................ 282.2.2. Phương pháp phổ hấp thụ hồng ngoại ...................................................... 292.2.3. Phương pháp phân tích nhiệt .................................................................... 302.2.4. Phương pháp thăng hoa ở điều kiện áp suất thấp .................................... 302.2.5. Giản đồ nhiễu xạ tia X ............................................................................... 312.2.6. Phổ tử ngoại – khả kiến (UV – Vis) ........................................................... 312.2.7. Phổ huỳnh quang ....................................................................................... 322.2.8. Đo bề dày và hình thái học bề mặt ............................................................ 322.2.9. Ảnh SEM ................................................................................................... 32CHƢƠNG 3 –THỰC NGHIỆM, KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN ....................... 333.1. Dụng cụ và hóa chất ..................................................................................... 333.1.1. Dụng cụ ...................................................................................................... 333.1.2. Hóa chất ..................................................................................................... 333.1.3. Chuẩn bị hóa chất ...................................................................................... 343.2. Tổng hợp các phức chất ............................................................................... 353.2.1. Tổng hợp axetylaxetonat của Zn2+ ............................................................ 353.2.2. Tổng hợp pivalat của Zn2+ ......................................................................... 363.2.3. Xác định hàm lượng kim loại trong các sản phẩm. .................................. 363.3. Nghiên cứu các phức chất bằng phương pháp phổ hấp thụ hồng ngoại .... 373.3.1. Phổ hấp thụ hồng ngoại của axetylaxeton và kẽm(II) axetylaxetonat ..... 373.3.1. Phổ hấp thụ hồng ngoại của axit pivalic và kẽm(II) pivalat .................... 393.4. Nghiên cứu các phức chất bằng phương pháp phân tích nhiệt ............ .....423.5. Khảo sát khả năng thăng hoa của các phức chất ........................................ 443.6. ...