Luận văn Thạc sĩ Vật lý: Nghiên cứu tính chất quang và khả năng ứng dụng của màng mỏng Ôxit vana đi giàu VO2

Đề tài nghiên cứu tiến hành khảo sát quá trình hình thành cấu trúc tinh thể, hình thái của màng mỏng ôxit vanađi giàu VO2 được hình thành; khảo sát tính chất quang và khả năng ứng dụng của màng mỏng ôxít Vanađi giàu VO2. Mời các bạn cùng tham khảo.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Luận văn Thạc sĩ Vật lý: Nghiên cứu tính chất quang và khả năng ứng dụng của màng mỏng Ôxit vana đi giàu VO2 ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊN TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TRẦN THỊ MAI THANH NGHIÊN CỨU TÍNH CHẤT QUANG VÀ KHẢ NĂNGỨNG DỤNG CỦA MÀNG MỎNG ÔXIT VANAĐI GIÀU VO2 LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌC VẬT LÝ Thái Nguyên - 2018 ĐẠI HỌC THÁI NGUYÊN TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TRẦN THỊ MAI THANH NGHIÊN CỨU TÍNH CHẤT QUANG VÀ KHẢ NĂNGỨNG DỤNG CỦA MÀNG MỎNG ÔXIT VANAĐI GIÀU VO2 Chuyên ngành: QUANG HỌC Mã số: 8.44.01.10 LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌC VẬT LÝ NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: TS. ĐỖ HỒNG THANH Thái Nguyên - 2018 i LỜI CAM ĐOAN Tác giả xin cam đoan đây là công trình nghiên cứu của bản thân dướisự hướng dẫn khoa học của TS Đỗ Hồng Thanh. Các kết quả nghiên cứu vàcác kết luận trong luận văn là trung thực. Việc tham khảo các tài liệu đã đượctrích dẫn và ghi nguồn theo đúng quy định. Trường Đại học KHTN- ĐH Thái Nguyên không liên quan đến nhữngvi phạm tác quyền, bản quyền do tôi gây ra trong quá trình thực hiện (nếu có) Hải Phòng, ngày 05 tháng 10 năm 2018 Tác giả luận văn Trần Thị Mai Thanh ii LỜI CẢM ƠN Với tấm lòng kính trọng và biết ơn, tôi xin được bày tỏ lời cảm ơn tớiTS Đỗ Hồng Thanh, người đã tận tình hướng dẫn chỉ bảo tôi trong suốt quátrình làm luận văn này. Tôi xin gửi lời cảm ơn đến những thầy, cô giáo đã giảng dạy tôi tronghai năm qua của hệ đào tạo sau đại học, chuyên ngành Quang học tại TrườngĐại học KHTN- ĐH Thái Nguyên. Những kiến thức, bài học mà tôi nhận từcác thầy, cô là hành trang quý báu giúp tôi hoàn thành luận văn và trưởngthành hơn trong công việc cũng như trong cuộc sống. Tôi xin cảm ơn cácThầy Cô ở các sơ sở nghiên cứu, đào tạo đã tận tình giúp đỡ tôi trong quátrình thực nghiệm. Tôi xin gửi lời cảm ơn đến Ban Giám hiệu trường THPT Kiến An- nơitôi đang công tác đã tạo điều kiện giúp đỡ sắp xếp công việc thuận lợi trongquá trình nghiên cứu. Cuối cùng, tôi muốn gửi lời cảm ơn sâu sắc tới tất cả bạn bè, đồngnghiệp nơi tôi công tác đã tạo điều kiện cho tôi có thời gian học tập, làm việcvà nghiên cứu. Đặc biệt, tôi xin cảm ơn những người thân trong gia đình,những người đã luôn động viên và giúp đỡ tôi vượt qua mọi khó khăn trongquá trình nghiên cứu, học tập. Trong quá trình nghiên cứu thực hiện đề tài, do thời gian nghiên cứu cóhạn nên Tôi không tránh khỏi những thiếu sót, Tôi rất mong được các thầy, côgiáo góp ý để đề tài được hoàn thiện hơn Xin trân trọng cảm ơn! Hải Phòng, ngày 05 tháng 10 năm 2018 Tác giả luận văn Trần Thị Mai Thanh iii MỤC LỤCLỜI CAM ĐOAN .............................................................................................. iLỜI CẢM ƠN ...................................................................................................iiMỤC LỤC........................................................................................................iiiDANH MỤC CÁC CHỮ TẮT ......................................................................... vMỞ ĐẦU........................................................................................................... 1CHƯƠNG 1. ĐẶC TRƯNG CẤU TRÚC, TÍNH CHẤT QUANG VÀCÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG MỎNG ĐIÔXIT VANAĐI VO2 .. 41.1. Cấu trúc mạng tinh thể và điện tử .............................................................. 51.1.1. Cấu trúc tinh thể của đioxit vanađi (VO2)............................................... 51.1.2. Cấu trúc điện tử của ôxit vanađi ............................................................. 61.2. Chuyển pha bán dẫn kim loại..................................................................... 71.3. Tính chất nhiệt sắc của màng mỏng VO2................................................. 111.4 Các phương pháp chế tạo màng mỏng...................................................... 151.4.1. Bốc bay chân không bằng thuyền điện trở............................................ 151.4.2. Bốc bay bằng chùm tia điện tử (electron-beam-deposition)................. 161.4.3. Phún xạ cao áp một chiều và cao tần (Dc-sputtering, Rf-sputtering)... 161.4.4. Lắng đọng pha hơi hoá học (Chemical vapor deposition-CVD) .......... 181.4.5. Phương pháp sol-gel.............................................................................. 191.4.6. Phun thuỷ nh ...