Danh mục

MICROMACHINING TECHNIQUES FOR FABRICATION OF MICRO AND NANO STRUCTURES

Số trang: 312      Loại file: pdf      Dung lượng: 38.80 MB      Lượt xem: 13      Lượt tải: 0    
10.10.2023

Xem trước 10 trang đầu tiên của tài liệu này:

Thông tin tài liệu:

Making microsystems at a scale level of few microns is called micromachining.Micromachining is used to fabricate three-dimensional microstructures. It is thefoundation of a technology called Micro-Electro-Mechanical-Systems (MEMS). MEMSusually consist of three major parts: sensors, actuators, and an associate electroniccircuitry that acts as the brain and controller of the whole system.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
MICROMACHINING TECHNIQUES FOR FABRICATION OF MICRO AND NANO STRUCTURES

Tài liệu được xem nhiều: