Sổ tay ma sát và Nano P16

Số trang: 36 Loại file: pdf Dung lượng: 2.89 MB Lượt xem: 17 Lượt tải: 0

Thư viện của tui

Phí tải xuống: 13,000 VND

Xem trước 4 trang đầu tiên của tài liệu này:

Thông tin tài liệu:

Bhushan, B. “Micro/Nanotribology and Micro/Nanomechanics of MEMS...” Handbook of Micro/Nanotribology. Ed. Bharat Bhushan Boca Raton: CRC Press LLC, 1999Micro/Nanotribology and Micro/Nanomechanics of MEMS DevicesBharat Bhushan16.1 IntroductionBackground • Tribological Issues1616.2 Experimental TechniquesDescription of Apparatus and Test Procedures • Test Samples16.3 Results and DiscussionMicro/Nanotribological Studies of Virgin, Coated, and Treated Silicon Samples • Micro/Nanotribological Studies of Doped and Undoped Polysilicon Films, SiC Films, and Their Comparison to Single-Crystal Silicon • Macroscale Tribological Studies of Virgin, Coated, and Treated Samples • Boundary Lubrication Studies • Component Level Studies16.4 Closure References16.1 Introduction16.1.1 BackgroundThe advances in silicon photolithographic process technology since 1960s have led to...
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Sổ tay ma sát và Nano P16