Tóm tắt Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu: Nghiên cứu thiết kế hệ thống lò xo vi treo kiểu dầm cong kết cặp cơ và chế tạo mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano plasmonic

Luận án "Nghiên cứu thiết kế hệ thống lò xo vi treo kiểu dầm cong kết cặp cơ và chế tạo mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano plasmonic" được thực hiện nhằm phát triển hệ lò xo vi cơ ưu tiên dao động theo phương vuông góc với mặt phẳng đế chế tạo trục z); thiết lập quy trình chế tạo mũi dò khắc có kích thước nano sử dụng kỹ thuật quang khắc và vi cơ khối ướt truyền thống.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Tóm tắt Luận án Tiến sĩ Khoa học vật liệu: Nghiên cứu thiết kế hệ thống lò xo vi treo kiểu dầm cong kết cặp cơ và chế tạo mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano plasmonic BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI Nguyễn Văn Đường NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ HỆ THỐNG LÒ XO VI TREO KIỂU DẦM CONGKẾT CẶP CƠ VÀ CHẾ TẠO MŨI DÒ QUÉT ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG KHẮC CÁC CẤU TRÚC NANO PLASMONIC Ngành: Khoa học Vật liệu Mã số: 9440122 TÓM TẮT LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU Năm, 2023 1 Công trình được hoàn thành tại: Đại học Bách khoa Hà Nội Người hướng dẫn khoa học: GS.TS Chu Mạnh HoàngPhản biện 1: .................................................................................Phản biện 2: ..................................................................................Phản biện 3: ................................................................................. Luận án được bảo vệ trước Hội đồng đánh giá luận án tiến sĩ cấp Đại học Bách khoa Hà Nội họp tại Đại học Bách khoa Hà Nội Vào hồi …….. giờ, ngày ….. tháng ….. năm ………Có thể tìm hiểu luận án tại thư viện: 1. Thư viện Tạ Quang Bửu - ĐHBK Hà Nội 2. Thư viện Quốc gia Việt Nam 2 MỞ ĐẦU 1. Lý do chọn đề tài Trong vài thập kỷ qua, công nghệ nano phát triển đã mở ra cho cácnghiên cứu và ứng dụng phục vụ cuộc sống. Ngày nay có nhiều ứng dụngdành cho cảm biến quang học với độ chọn lọc cao được sử dụng. Từ đó, đặtra bài toán về sản xuất hàng loạt tạo ra các sản phẩm thương mại có giáthành cạnh tranh và hiệu suất chế tạo cao. Hiện nay có nhiều phương pháp chế tạo cấu trúc nano: K thuật quangkhắc, khắc chùm điện tử, chùm ion. Mỗi phương pháp đều có ưu và nhượcđiểm ứng dụng hàng loạt sản xuất công nghiệp. Để đáp ứng về mặt kích thước cấu trúc, cũng như hiệu suất chế tạo caothì k thuật khắc sử dụng mũi dò quét đã và đang thể hiện cho thấy điều đó.Tạo ra các cấu trúc nano mũi dò quét có thể khắc tr c tiếp không sử dụngmặt nạ khắc tr c tiếp bề mặt mẫu một cách cơ học với một đ u dò đã đượcđịnh hình cấu trúc. Độ ph n giải c a cấu trúc nano phụ thuộc vào kíchthước c a mũi dò và độ s u c a mẫu khắc. Để tối ưu cho k thuật khắc sửdụng mũi dò quét c n quan t m tới kích thước, hình dạng mũi dò quét và hệvi cơ điều khiển l c khắc c a mũi dò lên mẫu. Vì vậy nghiên cứu sinh l achọn đề tài “Nghiên cứu thiết kế hệ thống lò xo vi treo kiểu dầm cong kếtcặp cơ và chế tạo mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúcnano plasmonic”. M c đ ch nghi n c u Phát triển hệ lò xo vi cơ ưu tiên dao động theo phương vuông góc vớimặt ph ng đế chế tạo trục z). Thiết lập quy trình chế tạo mũi dò khắc có kích thước nano sử dụngk thuật quang khắc và vi cơ khối ướt truyền thống. Thiết lập quy trình chế tạo đế có cấu trúc nano plasmonic bằng kthuật dập khuôn 3D. Đối tư ng và ph vi nghi n c u + Bộ chấp hành trục z có nhi u chéo thấp, có độ dịch chuyển lớn và t nsố hoạt động trong phạm vi rộng. Công nghệ vi cơ khối ướt đơn giản. Công nghệ in dập khuôn 3D chế tạo cấu trúc nano plasmonic. Phư ng ph p nghi n c u Phương pháp nghiên cứu kết hợp l thuyết và th c nghiệm. ngh ho học và thực tiễn c đề tài ngh kho h c c đ tài + Luận án đã đề xuất hệ vi cơ hoạt động theo phương vuông góc vớimặt ph ng trục z) và giảm ảnh hưởng c a dao động nhi u. 1 Đề tài đã đề xuất quy trình và chế tạo thành công mũi dò khắc có kíchthước nano d a trên k thuật quang khắc truyền thống và vi cơ khối ướt. Luận án đã thiết lập được quy trình chế tạo các cấu trúc nano plasmonicd a trên công nghệ in dập khuôn 3D sử dụng mảng mũi dò được chế tạo. Kết quả nghiên cứu c a đề tài không nh ng có ứng dụng trong chấphành mũi dò quét trong khắc các cấu trúc nano, mà còn có thể ứng dụngtrong các linh kiện vi cơ điện tử khác như các cảm biến và các bộ vi dịchchuyển có độ chính xác cao. ngh th c ti n c đ tài Đề tài được th c hiện nhằm x y d ng, phát triển các công cụ chế tạo cấutrúc nano có độ chính xác và hiệu suất cao d a trên khắc cơ học. Quy trìnhchế tạo mũi dò có kích thước nano sử dụng k thuật khắc quang học truyềnthống và công nghệ vi cơ khối ướt với chi phí thấp, hoàn toàn được th c hiệnở trong nước. Đ y s làm cơ sở cho việc ứng dụng trong phát triển các hệthống khắc cho chế tạo các cấu trúc nano với hiệu suất khắc cao. T nh i c đề tài: Tính mới c a đề tài nghiên cứu được thể hiện tại 3 điểm sau đ y: - Nghiên cứu thiết kế cấu trúc vi treo lò xo vi cơ kết cặp cơ khắc phục độlệch biên c a lò xo vi cơ treo truyền thống, hạn chế dao động nhi u l n cận vàcó độ dịch c ...