Bài giảng: Phún xạ_Đại học Bách khoa Hà Nội

Khác với phương pháp bay bốc nhiệt, phún xạ không làm cho vật liệu bị bay hơi do đốt nóng mà thực chất quá trình phún xạ là quá trình truyền động năng. Vật liệu nguồn được tạo thành dạng các tấm bia (target) và được đặt tại điện cực (thường là catốt), trong buồng được hút chân không cao và nạp khí hiếm với áp suất thấp (cỡ 10-2 mbar). Dưới tác dụng của điện trường, các nguyên tử khí hiếm bị iôn hóa, tăng tốc và chuyển động về phía bia với tốc độ lớn và bắn phá...
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Bài giảng: Phún xạ_Đại học Bách khoa Hà NộiSimpo PDF Merge and Split Unregistered Version - http://www.simpopdf.com Lê Tuấn Đại học Bách khoa Hà Nội Phún xạ Ph Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version - http://www.simpopdf.com Phún xạ (tiếp) Sơ đồ hệ thống thiết bị phún xạ Plasma Ar Súng ion Nguyên tử phún xạ ngược Đế bán dẫn Nước làm lạnh Nguyên tử Mâm đỡ Nguyên tử Ar nhanh bằng Cu phún xạ Bia Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà2/2/2006 2 Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version - http://www.simpopdf.com Phún xạ (tiếp) Sơ đồ bố trí các bộ phận thiết bị phún xạ Khí vào Nguồn Bia điện Phiến bán dẫn Đế Bơm chân không Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà2/2/2006 3 Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version - http://www.simpopdf.com Phún xạ (tiếp) Cơ chế thực hiện quá trình phún xạ Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà2/2/2006 4 Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version - http://www.simpopdf.com Phún xạ (tiếp) Cơ chế thực hiện quá trình phún xạ (tiếp) 1. Nguyên tử khí Ar bị phân ly do ion hóa Ar → Ar+ + e- Ar 2. Điện tử được tăng tốc nhờ điện trường.ng. Trong quá trình chuyến động tới anode, Trong anode, trên đường đi, chúng tiếp tục gây ra các trên phân ly nguyên tử Ar mới. phân Các ion được tăng tốc cũng bởi điện 3. Cột trường và chuyển động tới cực âm, va tr âm, plasma chạm với vật liệu bia, làm bắn ra các hạt ch vật liệu bia và các điện tử thứ cấp. Các hạt vật liệu bia bị phún xạ ra khi được đưa tới bề mặt các phiến đế sẽ lắng đư ng đọng và tạo ra màng mỏng trên đó, còncòn các điện tử thứ cấp khi đi tới anode góp phần tăng cường quá trình ion hóa các ph nguyên tử Ar. nguyên Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà2/2/2006 5 Simpo PDF Merge and Split Unregistered Version - http://www.simpopdf.com Phún xạ (tiếp) Một vài đặc điểm của các hạt nhỏ vật liệu bia phún xạ Trước hết, các hạt nhỏ vật liệu bia bị phún xạ ra ngoài bia trung hòa về điện bia trung tích, nên chuyển động của chúng không phụ thuộc chiều điện trường mà được quyết định bởi các va chạm với các ion Ar+. đư Năng lượng liên kết của các nguyên tử hạt vật liệu bia phụ thuộc vào nhiều yếu tố như ...