Thông tin tài liệu:
Máy STM (Scanning Tunneling Microscope) là kính hiển vi quét chui ngầm, được sử dụng để quan sát hình thái học bề mặt của vật rắn (kim loại, chất bán dẫn) ở cấp độ nguyên tử. Để hiểu rõ hơn về máy này mời các bạn tham khảo bài thuyết trình Máy STM (Scanning Tunneling Microscope) sau đây.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Bài thuyết trình Máy STM (Scanning Tunneling Microscope)
SEMINAR:
MÁY STM
(SCANNING TUNNELING
MICROSCOPE)
NHÓM THỰC HIỆN:
VŨ THU HIỀN
TRẦN THỊ THANH THỦY
HUỲNH LÊ THÙY TRANG
STM LÀ GÌ???
Được phát minh năm 1981 và
hai nhà phát minh ra thiết bị này
là Gerd Binnig và Heinrich
Rohrer (đã giành giải Nobel Vật
lý năm 1986
Là kính hiển vi quét chui ngầm
,được sử dụng để quan sát hình
thái học bề mặt của vật rắn (kim
loại, chất bán dẫn) ở cấp độ
nguyên tử
NGUYÊN LÝ
HOẠT ĐỘNG
CỦA STM
STM sử dụng một mũi dò nhọn mà đầu của mũi dò có kích
thước là một nguyên tử, quét rất gần bề mặt mẫu. Khi đầu dò
được quét trên bề mặt mẫu, sẽ xuất hiện các điện tử di chuyển từ
bề mặt mẫu sang mũi dò do hiệu ứng chui ngầm lượng tử và
việc ghi lại dòng chui ngầm (do một hiệu điện thế đặt giữa mũi
dò và mẫu) này sẽ cho các thông tin về cấu trúc bề mặt với độ
phân giải ở cấp độ nguyên tử
CẤU TẠO CHÍNH MÁY STM
ĐẦU DÒ
BỘ ÁP ĐIỆN:
+ BỘ ĐIỀU KHIỂN
QUÉT XY
+ BỘ ĐIỀU KHIỂN
HỒI TIẾP
BỘ PHẬN CHỐNG
RUNG
MÁY TÍNH
ĐẦU DÒ
Cách chế tạo:
_ Dây vonfram được
chế tạo bằng phương
pháp khắc điện hóa
hoặc được mài nhọn
với bột Fe.
_ Được cắt từ dây Pt-Ir.
Đường kính vài trăm
nm (kích thước cỡ
nguyên tử)
PHƯƠNG PHÁP KHẮC ĐIỆN HÓA
CÁCH QUÉT CỦA ĐẦU DÒ
HIỆU ỨNG ĐƯỜNG NGẦM
Theo cơ học cổ điển, khi E_Nếu mẫu gắn vào cực +, Ef của mẫu nhỏ hơn Ef của đầu dò ->
dòng chui ngầm dịch chuyển từ đầu dò sang mẫu
_Nếu mẫu gắn vào cực -, Ef của mẫu > Ef của đầu dò -> dòng chui
hầm dịch chuyển từ mẫu sang đầu dò.
DÒNG CHUI NGẦM
Dòng chui ngầm đo mật độ e ở bề mặt
( e gần mức Fermi).
Do đó đo dòng chui ngầm có thể thay
thế cho hình ảnh vật lý của bề mặt
mẫu.
_d: khoảng cách giữa đầu dò và mẫu
_Ф: chiều cao hố thế
_m: khối lượng e.
_I giảm theo hệ số 10 khi khoảng cách tăng 1 Ao
_I co giá trị từ 10pA – 1nA ( Ф cỡ vài eV,d cỡ 0,5 nm)
BỘ PHẬN ÁP ĐIỆN
_Là trung tâm vận hành của
STM.Giúp mũi dò di chuyển tinh
tế hơn
_có 2 loại áp điện:
tripod tube
CHẤT ÁP ĐIỆN HOẠT ĐỘNG NHƯ THẾ NÀO?
+ + +
d V=+ V=0 V= -
- - -
L+DL L L-DL
_Chất áp điện giãn nở dọc theo trục của nó khi điện thế đặt vào cùng
chiều phân cực của chất áp điện (V +). Khi đó chất áp điện co lại theo
phương vuông góc với trục.
_Ngược lại chất áp điện sẽ co lại dọc theo trục của nó khi điện thế đặt
vào ngược chiều phân cưc của chất áp điện (V -). Khi đó chất áp điện
giãn nở theo phương vuông góc với trục.
BỘ ĐIỀU KHIỂN QUÉT XY BỘ ĐIỀU KHIỂN HỒI TIẾP
Là bộ phận điều khiển định vị vị Mạch hồi tiếp để giữ cho dòng chui ngầm
trí mũi dò ( áp điện X và Y có thể không đổi,bằng cách điều chỉnh khoảng
dãn nở khi đặt vào nó 1 hiệu điện cách giữa mũi dò và mẫu( trục z),khoảng
thế) khi nó di chuyển rất sát vật cách này được điều khiển bằng 1tinh thể
mẫu và quét trên mặt phẳng XY áp điện (áp điện z)có thể dãn nở khi đặt
song song với bề mặt mẫu. vào nó 1 hiệu điện thế.
CÁC KIỂU QUÉT
KIỂU QUÉT
CHIỀU CAO
KHÔNG ĐỔI
KIỂU QUÉT DÒNG
CHUI NGẦM
KHÔNG ĐỔI
Kiểu quét chiều cao không đổi
Tốc độ nhanh hơn vì không điều
chỉnh trục z nhưng chỉ giới hạn
ở mẫu có bề mặt phẳng
Kiểu quét dòng không đổi:
Quét chậm vì bộ phận hồi tiếp
phải điều chỉnh khoảng cách
giữa đầu dò và mẫu
BỘ PHẬN CHỐNG RUNG
ỨNG DỤNG
Hình ảnh cấu trúc bề mặt Si (111) khi sử dung STM năm 1982
Hình ảnh (35nm × 35nm)1 tạp chất Cr thế chỗ trên bề mặt của Fe(001)
Cấu trúc bề mặt mẫu Fe