Kết quả bước đầu nghiên cứu công nghệ chế tạo cửa sổ kim cương trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng
Số trang: 3
Loại file: pdf
Dung lượng: 4.63 MB
Lượt xem: 9
Lượt tải: 0
Xem trước 2 trang đầu tiên của tài liệu này:
Thông tin tài liệu:
Màng kim cương được nuôi trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng công suất 1,3KV. Nhiệt độ của đế là 700 độ C áp suất buồng phản ứng là 50 Torr, thời gian nuôi kéo dài 5g. Mâm tạo màng kim cương là bột kim cương được lắng đọng trên đế Si bằng phương pháp rung siêu âm. Kết quả cho thấy vai trò quan trọng của quá trình tạo màng kim cương rất quan trọng. Ảnh đo SEM chỉ ra rằng màng kim cương mọc trên đế Si được rửa sạch sau khi rung siêu âm với bột kim cương có độ đồng đều về các hạt tốt hơn. Cửa sổ kim cương đã được chế tạo bằng cách ăn mòn ướt để Si có diện tích cỡ 1cm với chiều dày khoảng 15Mm. Các phép đo về cấu trúc và tính chất quang của cửa sổ kim cương sẽ được trình bày trong bài viết này.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Kết quả bước đầu nghiên cứu công nghệ chế tạo cửa sổ kim cương trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Kết quả bước đầu nghiên cứu công nghệ chế tạo cửa sổ kim cương trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng
Tìm kiếm theo từ khóa liên quan:
Công nghệ chế tạo Phương pháp lắng đọng hóa học Plasma vi sóng Màng kim cương Công nghệ hóa họcGợi ý tài liệu liên quan:
-
Tổng hợp và tác dụng sinh học của một số dẫn chất của Hydantoin
6 trang 204 0 0 -
Thuyết trình môn kiến trúc máy tính: CPU
20 trang 144 0 0 -
130 trang 134 0 0
-
Từ điển Công nghệ hóa học Anh - Việt: Phần 1
246 trang 47 0 0 -
Thiết bị công nghệ hóa học (Tập 10): Phần 1
220 trang 44 0 0 -
9 trang 41 0 0
-
Từ điển Công nghệ hóa học Anh - Việt: Phần 2
302 trang 41 0 0 -
5 trang 41 0 0
-
Đồ án quá trình thiết bị cô đặc
57 trang 40 0 0 -
Quá trình thiết bị truyền khối - Hấp phụ
12 trang 38 0 0