Danh mục

Kết quả bước đầu nghiên cứu công nghệ chế tạo cửa sổ kim cương trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng

Số trang: 3      Loại file: pdf      Dung lượng: 4.63 MB      Lượt xem: 9      Lượt tải: 0    
10.10.2023

Phí lưu trữ: miễn phí Tải xuống file đầy đủ (3 trang) 0
Xem trước 2 trang đầu tiên của tài liệu này:

Thông tin tài liệu:

Màng kim cương được nuôi trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng công suất 1,3KV. Nhiệt độ của đế là 700 độ C áp suất buồng phản ứng là 50 Torr, thời gian nuôi kéo dài 5g. Mâm tạo màng kim cương là bột kim cương được lắng đọng trên đế Si bằng phương pháp rung siêu âm. Kết quả cho thấy vai trò quan trọng của quá trình tạo màng kim cương rất quan trọng. Ảnh đo SEM chỉ ra rằng màng kim cương mọc trên đế Si được rửa sạch sau khi rung siêu âm với bột kim cương có độ đồng đều về các hạt tốt hơn. Cửa sổ kim cương đã được chế tạo bằng cách ăn mòn ướt để Si có diện tích cỡ 1cm với chiều dày khoảng 15Mm. Các phép đo về cấu trúc và tính chất quang của cửa sổ kim cương sẽ được trình bày trong bài viết này.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Kết quả bước đầu nghiên cứu công nghệ chế tạo cửa sổ kim cương trên đế Si bằng phương pháp lắng đọng hóa học sử dụng plasma vi sóng

Tài liệu được xem nhiều: