Kỹ thuật vi điện tử - ThS. Vũ Chiến Thắng

(NB) Cuốn sách Bài giảng Kỹ thuật vi điện tử gồm có 4 chương. Chương 1: Cơ sở vật lý, Chương 2: Cấu trúc mạch vi điện tử, Chương 3: Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, Chương 4: Một số họ vi mạch cơ bản. Đây là tài liệu học tập, giảng dạy bổ ích của học viên, sinh viên, giảng viên khoa Công nghệ Thông tin, Điện tử - Viễn thông.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Kỹ thuật vi điện tử - ThS. Vũ Chiến ThắngKHOA CÔNG NGH THÔNG TIN MÔN: N T - VI N THÔNG THS. V CHI N TH NGTHU T VI NT P BÀI GI NG (L u hành n i b ) THÁI NGUYÊN 9/2010 1 CL C C L C ......................................................................................................................... 1Ch ng 1: C S V T LÝ ............................................................................................... 4 1.1. C u trúc tinh th ...................................................................................................... 4 1.2. C u trúc vùng n ng l ng ........................................................................................ 6 1.3. Bán d n tinh khi t .................................................................................................... 7 1.4. Bán d n lo i P.......................................................................................................... 8 1.5. Bán d n lo i N ......................................................................................................... 9 1.6. linh ng, d n.............................................................................................. 11Ch ng 2: C U TRÚC M CH VI N T .................................................................. 13 2.1. Chuy n ti p PN...................................................................................................... 13 2.2. Công ngh l ng c c ............................................................................................. 15 2.2.1. Cách n b ng chuy n ti p PN....................................................................... 15 2.2.2. Cách n b ng Oxide ..................................................................................... 16 2.2.3. Transistor l ng c c ....................................................................................... 17 2.2.4. Diode, n tr và t n ................................................................................ 21 2.3. Công ngh CMOS ................................................................................................. 24 2.3.1. M u ........................................................................................................... 24 2.3.2. Quá trình ch t o............................................................................................. 26 2.3.3. Ch t o gi ng .................................................................................................. 27 2.3.4. n c c c ng ................................................................................................. 28Ch ng 3: CÔNG NGH CH T O M CH VI N T ............................................. 30 3.1. Ch t o phi n bán d n............................................................................................ 30 3.1.1. Quy trình ch t o phi n bán d n silic............................................................... 30 3.1.2. Ch t o Silic a tinh th .................................................................................. 31 3.1.3. Ch t o Silic n tinh th ................................................................................ 32 3.1.4. Ch t o phi n bán d n ..................................................................................... 37 3.1.5. Phòng s ch...................................................................................................... 37 3.2. Oxy hóa ................................................................................................................. 49 3.2.1.Gi i thi u công ngh Oxy hoá.......................................................................... 49 3.2.2.Oxy hóa nhi t................................................................................................... 49 3.3. Quang kh c............................................................................................................ 53 3.3.1. Khái ni m ....................................................................................................... 53 3.3.3. Các khái ni m c b n ...................................................................................... 54 3.3.4. Các giai n c a quá trình quang kh c........................................................... 56 3.4. n mòn.................................................................................................................. 60 3.4.1. n mòn t..................................................................................................... 61 3.4.2. n mòn khô .................................................................................................... 66 3.5. Khu ch tán ...................... ...