Luận văn Thạc sĩ Công nghệ kỹ thuật Điện tử Truyền thông: Nghiên cứu, thiết kế và chế tạo cảm biến vi hạt trong dòng chảy chất lỏng dựa trên cấu trúc cặp điện dung vi sai đồng phẳng phát hiện dẫn không tiếp xúc

Luận văn này trình bày thiết kế,chế tạo và thử nghiệm một hệ thống cấu trúc cảm biến vi hạt trong dòng chảy chất lỏng dựa trên cấu trúc cặp điện dung vi sai đồng phẳng phát hiện dẫn không tiếp xúc. Hệ thống cảm biến được đề xuất này bao gồm một cấu trúc tụ gồm bốn vi điện cực đồng phẳng tích hợp trong kênh vi lỏng và được cách ly để tránh các điện cực tiếp xúc trực tiếp với chất lỏng trong kênh dẫn bởi một lớp điện môi.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Luận văn Thạc sĩ Công nghệ kỹ thuật Điện tử Truyền thông: Nghiên cứu, thiết kế và chế tạo cảm biến vi hạt trong dòng chảy chất lỏng dựa trên cấu trúc cặp điện dung vi sai đồng phẳng phát hiện dẫn không tiếp xúc ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN THỊ KIM NGÂN NGHIÊN CỨU, THIẾT KẾ VÀ CHẾ TẠO CẢM BIẾN VIHẠT TRONG DÒNG CHẢY CHẤT LỎNG DỰA TRÊN CẤU TRÚC CẶP ĐIỆN DUNG VI SAI ĐỒNG PHẲNG PHÁT HIỆN DẪN KHÔNG TIẾP XÚC Ngành : Công nghệ Kỹ thuật Điện tử, Truyền thông Chuyên ngành : Kỹ thuật Điện tử Mã ngành : 60520203 LUẬN VĂN THẠC SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ, TRUYỀN THÔNG Giáo viên hướng dẫn: PGS. TS. Chử Đức Trình HÀ NỘI - 2017 i Lời cảm ơn Để hoàn thành đề tài này, tôi xin chân thành cảm ơn các thầy cô giáo đã tận tìnhhướng dẫn, giảng dạy trong suốt quá trình học tập, nghiên cứu và rèn luyện cũng nhưtrong quá trình thực hiện đề tài ở trường Đại học Công nghệ - ĐHQGHN. Tôi xin cảmơn các thầy cô giáo đã có những ý kiến đóng góp và động viên kịp thời giúp tôi hoànthành luận văn này. Trong quá trình thực hiện luận văn không thể tránh khỏi nhữngsai sót, tôi rất mong nhận được những ý kiến đóng góp của quý thầy cô và tất cả cácbạn đọc để tôi có thể tiếp tục phát triển và hoàn thiện đề tài này. Luận văn này được thực hiện trong khuôn khổ của đề tài hợp tác song phươngnghị định thư “Phát triển hệ thống vi lỏng kết hợp aptamer và cảm biến trở khángnhằm phát hiện tế bào ung thư”, mã số NDT.15.TW/16. Hà Nội, tháng 11, 2017 Nguyễn Thị Kim Ngân ii Lời cam đoan Tôi xin cam đoan đề tài “Nghiên cứu, thiết kế và chế tạo cảm biến vi hạttrong dòng chảy chất lỏng dựa trên cấu trúc cặp điện dung vi sai đồng phẳngphát hiện dẫn không tiếp xúc” do PGS.TS. Chử Đức Trình hướng dẫn là công trìnhnghiên cứu của tôi, không sao chép các tài liệu hay công trình của người nào khác. Tất cả những tài liệu tham khảo phục vụ cho đồ án này đều được nêu nguồn gốcrõ ràng trong danh mục tài liệu tham khảo và không có việc sao chép tài liệu hoặc đềtài khác mà không ghi rõ về tài liệu tham khảo. Hà Nội, tháng 11, 2017 Nguyễn Thị Kim Ngân 1 Mục lụcLời cảm ơn ....................................................................................................................... iLời cam đoan ..................................................................................................................iiMục lục ........................................................................................................................... 1Danh mục hình vẽ ........................................................................................................... 2Danh mục bảng biểu ....................................................................................................... 4Tóm tắt luận văn ............................................................................................................. 5Danh mục các ký hiệu và chữ viết tắt ............................................................................. 6MỞ ĐẦU ........................................................................................................................ 7 Tổng quan.................................................................................................................... 7 Mục tiêu của đề tài .................................................................................................... 10CHƯƠNG 1: CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG VI SAI ĐỒNG PHẲNG VÀ ỨNGDỤNG 11 1.1. Cảm biến điện dung ......................................................................................... 11 1.2. Một số ứng dụng của cảm biến điện dung ....................................................... 13 1.3. Nguyên lý hoạt động cơ bản của cấu trúc C4D ............................................... 14 1.4. Cảm biến điện dung vi sai đồng phẳng ........................................................... 21CHƯƠNG 2: THIẾT KẾ, CHẾ TẠO CHIP LỎNG TÍCH HỢP CẢM BIẾN ĐIỆNDUNG ĐỒNG PHẲNG KHÔNG TIẾP XÚC ............................................................. 22 2.1. Thiết kế mô phỏng cảm biến điện dung đồng phẳng ...................................... 22 2.2. Quy trình chế tạo dựa trên công nghệ vi chế tạo . ...