Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật điều khiển và Tự động hóa: Nghiên cứu mô phỏng, chế tạo cảm biến đo khí H2 trên cơ sở sóng âm bề mặt sử dụng vật liệu tổ hợp paladi/graphene

Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật điều khiển và Tự động hóa "Nghiên cứu mô phỏng, chế tạo cảm biến đo khí H2 trên cơ sở sóng âm bề mặt sử dụng vật liệu tổ hợp paladi/graphene" trình bày các nội dung chính sau: Tổng quan về cảm biến SAW đo khí H2; Nghiên cứu cơ chế hoạt động của cảm biến SAW đo khí H2 thông qua mô phỏng FEM; Thiết kế, chế tạo cảm biến SAW đo khí H2 và khảo sát một số nhân tố ảnh hưởng.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật điều khiển và Tự động hóa: Nghiên cứu mô phỏng, chế tạo cảm biến đo khí H2 trên cơ sở sóng âm bề mặt sử dụng vật liệu tổ hợp paladi/graphene BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI NGUYỄN HẢI HÀNGHIÊN CỨU MÔ PHỎNG, CHẾ TẠO CẢM BIẾN ĐO KHÍ H2 TRÊN CƠ SỞ SÓNG ÂM BỀ MẶT SỬ DỤNG VẬT LIỆU TỔ HỢP PALADI/GRAPHENE LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT ĐIỀU KHIỂN VÀ TỰ ĐỘNG HÓA Hà Nội – 2023 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI NGUYỄN HẢI HÀNGHIÊN CỨU MÔ PHỎNG, CHẾ TẠO CẢM BIẾN ĐO KHÍ H2 TRÊN CƠ SỞ SÓNG ÂM BỀ MẶT SỬ DỤNG VẬT LIỆU TỔ HỢP PALADI/GRAPHENE Ngành: Kỹ thuật điều khiển và tự động hóa Mã số: 9520216 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT ĐIỀU KHIỂN VÀ TỰ ĐỘNG HÓA NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: 1. PGS.TS. HOÀNG SĨ HỒNG 2. PGS.TS. TRƯƠNG NGỌC TUẤN Hà Nội – 2023 LỜI CAM ĐOANTôi xin cam đoan các kết quả trình bày trong luận án là công trình nghiên cứu của cánhân tôi dưới sự hướng dẫn của PGS.TS Hoàng Sĩ Hồng và PGS.TS Trương Ngọc Tuấn.Tất cả những tham khảo trong luận án được trích dẫn và tham chiếu đầy đủ. Các kết quảnghiên cứu là trung thực và chưa từng công bố trên bất kỳ công trình nào khác. Hà Nội, ngày tháng năm 2023 Tập thể hướng dẫn khoa học Nghiên cứu sinh PGS.TS. Hoàng Sĩ Hồng PGS.TS. Trương Ngọc Tuấn Nguyễn Hải Hà i LỜI CẢM ƠN Luận án này được nghiên cứu sinh thực hiện tại Trường Điện – Điện tử, Đại họcBách Khoa Hà Nội dưới sự hướng dẫn khoa học của PGS.TS Hoàng Sĩ Hồng và PGS.TSTrương Ngọc Tuấn. Nghiên cứu sinh (NCS) xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc đến các Thầyđã hướng dẫn tận tình, hiệu quả trong suốt quá trình nghiên cứu và thực hiện Luận án. Nghiên cứu sinh (NCS) cũng xin gửi lời cảm ơn chân thành tới Viện ITIMS trướcđây, nay là Trường Vật liệu – Đại học Bách Khoa Hà Nội đã có những ý kiến đóng gópvề khoa học, chuyên môn rất sâu sắc đồng thời tạo điều kiện để nghiên cứu sinh thựcnghiệm, đánh giá kết quả nghiên cứu của trong quá trình thực hiện Luận án. Tôi cũng xin gửi lời cảm ơn đến các Lãnh đạo và cán bộ, giảng viên Trường đạihọc Sư phạm Kỹ thuật Hưng Yên đã tạo những điều kiện tốt nhất cho nghiên cứu sinhtrong quá trình thực hiện Luận án. Nhân dịp này, Nghiên cứu sinh (NCS) xin bày tỏ lòng biết ơn với các thành viêntrong gia đình, bạn bè thân thiết, những người đã không quản ngại khó khăn, hết lònggiúp đỡ, động viên, tạo điều kiện thuận lợi trong suốt thời gian qua để nghiên cứu sinhcó được cơ hội hoàn thành tốt Luận án của mình. Tác giả luận án Nguyễn Hải Hà ii MỤC LỤCLỜI CAM ĐOAN .......................................................................................................... ILỜI CẢM ƠN ............................................................................................................... IIMỤC LỤC ....................................................................................................................IIIDANH MỤC HÌNH VẼ, BIỂU ĐỒ ........................................................................... VIDANH MỤC BẢNG BIỂU .......................................................................................... XDANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT ........................................................................ XIDANH MỤC CÁC KÝ HIỆU ................................................................................... XIIMỞ ĐẦU .........................................................................................................................1CHƯƠNG 1. TỔNG QUAN VỀ CẢM BIẾN SAW ĐO KHÍ H2 ..............................31.1. Tổng quan về cảm biến khí H2 .................................................................................31.2. Tổng quan về vật liệu nhạy khí H2 ...........................................................................81.2.1. Vật liệu có cơ chế nhạy hoá ......................................................................................... 81.2.2. Vật liệu có cơ chế nhạy điện tử ................................................................................. 101.2.3. Vật liệu Pd hấp thụ khí H2 .......................................................................................... 111.2.4. Một số yếu tố ảnh hưởng tới đặc tính làm việc của cảm biến H2 ......................... 12 1.2.4.1. Ảnh hưởng của nhiệt độ làm việc .............................................................12 1.2.4.2. Ảnh hưởng của việc pha tạp chất xúc tác lên tính chất nhạy khí .............12 1.2.4.3. Ảnh hưởng kích thước hạt và độ xốp lên tính chất nhạy khí ...................131.3. Graphene .................................................................................................................141.3.1. Giới thiệu về graphene................................................................................................ 141.3.2. Các phương pháp tổng hợp graphene ....................................................................... 16 1.3.2.1. Phương pháp tách lớp cơ học (dán bóc) ...................................................16 1.3.2.2. Phương pháp lắng đọng pha hơi hóa học (CVD) .....................................17 1.3.2.3. Phương pháp tạo mạng graphene trên nề ...