Danh mục

Calculation and analysys of electron transport coefficients in tries N2 gas mixtures

Số trang: 7      Loại file: pdf      Dung lượng: 1.00 MB      Lượt xem: 34      Lượt tải: 0    
tailieu_vip

Xem trước 1 trang đầu tiên của tài liệu này:

Thông tin tài liệu:

The electron transport coefficients in gases or gas mixtures are important data for plasma modeling. The pure triethoxysilane (TRIES) and pure N2 are widely used in various plasma processing such as doping plasma, plasma etching and plasma-enhanced chemical vapor deposition.
Nội dung trích xuất từ tài liệu:
Calculation and analysys of electron transport coefficients in tries N2 gas mixtures

Tài liệu được xem nhiều:

Tài liệu cùng danh mục:

Tài liệu mới: